在外加電場加速下，電暈機(jī)產(chǎn)生的臭氧多久分解部分電離氣體中的電子與中性分子碰撞，并將從電場中獲得的能量轉(zhuǎn)移到氣體中。電子與中性分子的彈性碰撞導(dǎo)致分子動能增加，表現(xiàn)為溫度的升高；非彈性碰撞導(dǎo)致激發(fā)（分子或原子中的電子從低能級躍遷到高能級）、解離（分子分解為原子）或電離（分子或原子的外層電子從束縛態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)樽杂呻娮樱?。高溫氣體通過傳導(dǎo)、對流和輻射向周圍環(huán)境傳遞能量。在穩(wěn)態(tài)條件下，給定體積中的輸入能和損失能相等。

（2）有些分子受高能電子碰撞刺激，電暈機(jī)產(chǎn)生的臭氧氮氧化物危害原子鍵斷裂形成小的碎片基團(tuán)和原子。(3)-O、-OH、-HO2與原子、有機(jī)分子、破碎基團(tuán)等自由基反應(yīng)。其中一些被氧化分解為CO、CO2和H2O等惡臭成分。

XY分子與電子的碰撞也可以將其分解為X原子和Y原子（分離）。如果您使用&ldquo；:&rdquo；表示分子中的成鍵電子對，電暈機(jī)產(chǎn)生的臭氧氮氧化物危害則解離過程可用x:Y&rarr表示；X.+。Y；這樣，X和未配對電子（在X和Y旁邊用符號&中點(diǎn)；易發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，故可稱為化學(xué)活性種或自由基）。自由原子如H、O、CI和分子如CH3、CF2、SiH3都是等離子體清洗機(jī)中的基團(tuán)。

（3）鏈轉(zhuǎn)移反應(yīng)：H+C2H6&RARR；C2H5+H2(3-29)CH3+C2H6&RARR；C2H5+CH4(3-30)CH3+E*&Rarr；CH2+H(3-31)CH2+E*&Rarr；CH+H(3-32)CH+E*&RARR；C+H(3-33)（4）鏈終止反應(yīng)：CH3+H&RARR；CH4(3-34)CH2+CH2&RARR；C2H4(3-35)CH3+CH&Rarr；C2H4(3-36)CH+CH&RARR；C2H2(3-37)低溫常壓下，電暈機(jī)產(chǎn)生的臭氧多久分解純乙烷在等離子體作用下可脫氫生成乙炔；、乙烯、少量甲烷和積碳，但存在轉(zhuǎn)化率低、反應(yīng)器壁積碳等問題。

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同時(shí)，高活性氧離子斷鍵后可隨分子鏈發(fā)生化學(xué)變化，形成活性基團(tuán)親水性表面，達(dá)到表面活化的目的；有機(jī)物污染物元素與高活性氧離子斷鍵后產(chǎn)生化學(xué)變化形成分子結(jié)構(gòu)，如CO.co2.H2O，從而達(dá)到表面清潔的目的。O2適用于高分子材料的表面活化和有機(jī)污染物的去除，但不適用于易氧化的金屬表面。真空等離子體中的氧等離子體為淺藍(lán)色，某些放電條件與白色相似。放電環(huán)境的光線比較明亮，真空室內(nèi)的放電可能肉眼看不到。

正如將固體轉(zhuǎn)化為氣體需要能量一樣，產(chǎn)生離子體也需要能量。一定量的離子體是由帶電粒子和中性粒子（包括原子、離子和自由粒子）的混合物組成的。離子體可以導(dǎo)電并與電磁力發(fā)生反應(yīng)。當(dāng)溫度升高時(shí)，物質(zhì)從固體變成液體，液體會變成氣體。當(dāng)氣體的溫度升高時(shí)，氣體分子就會分離成原子。如果溫度繼續(xù)升高，原子核周圍的電子就會脫離原子，變成離子（正電荷）和電子（負(fù)電荷）。

當(dāng)這些氧基等離子體噴涂在材料表面時(shí)，附著在襯底表面的帶有（有機(jī)）污染物的碳分子可以被分離并轉(zhuǎn)變?yōu)槎趸己蟊磺宄ㄈコ煌瑫r(shí)有效提高了材料的表面接觸性能，增加了強(qiáng)度和可靠性。

活性組分Pd和La2O3的推薦負(fù)載量分別為0.01%和5%，即催化劑為0.01%Pd-5%La2O3/Y-Al2O3。。

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