由于位于中間層的聚合物膜有自己的熱活化膠粘劑涂層，電暈機(jī)線路圖原來(lái)的三層會(huì)粘結(jié)成一個(gè)整體。這疊壓板隨后會(huì)被切成固定尺寸的板，鉆上小孔便于組裝，然后用加膜機(jī)在電路板表面粘上第四層感光膜。機(jī)械師根據(jù)客戶需求用電腦繪制出集成電路圖，再將板材放入曝光機(jī)，電腦就會(huì)控制機(jī)器用激光掃描感光層。輻照后的光敏層表面會(huì)發(fā)生反應(yīng)硬化，從而保護(hù)下面的銅層免受酸洗。

光敏聚合物光致抗蝕劑經(jīng)紫外線曝光后，電暈機(jī)線弱電并行顯影去除照射部分。一旦電路圖形在光刻膠上定型，就可以通過(guò)蝕刻工藝將該圖形復(fù)制到具有多晶硅等紋理的襯底薄膜上，從而形成晶體管門(mén)電路。同時(shí)用鋁或銅實(shí)現(xiàn)組件間的互連，或用二氧化硅阻斷互連路徑。蝕刻的作用是將印刷圖案高精度地轉(zhuǎn)移到基板上，因此蝕刻工藝必須有選擇地去除不同的薄膜，基板的蝕刻對(duì)選擇性要求很高。否則，不同導(dǎo)電金屬層之間就會(huì)發(fā)生短路。

一旦在光刻膠上形成電路圖形，電暈機(jī)線路圖就可以通過(guò)蝕刻工藝將該圖形復(fù)制到具有多晶硅等紋理的基膜上，從而形成晶體管門(mén)電路。同時(shí)用鋁或銅實(shí)現(xiàn)組件間的互連，或用二氧化硅阻斷互連路徑。蝕刻的作用是將印刷物以非常精確的方式轉(zhuǎn)移到襯底上，因此蝕刻工藝必須有選擇地去除不同的薄膜，對(duì)襯底的蝕刻具有高選擇性。否則，不同導(dǎo)電金屬層之間就會(huì)發(fā)生短路。此外，蝕刻過(guò)程應(yīng)該是各向異性的，以確保印刷圖案準(zhǔn)確地再現(xiàn)到基底上。

3.4并行電暈清洗并流電暈又稱源室分裂腔電暈DPE，電暈機(jī)線路圖電暈攻擊源位于電暈攻擊室，待清洗工件位于工藝室。將氣相回波粒子、原子團(tuán)、光子等引入工藝室，對(duì)工件進(jìn)行清潔，基本過(guò)濾掉離子和電子。包裝電暈清洗以2.45GHz并行電暈型為主，適用于有機(jī)物清洗。

電暈機(jī)線弱電并行

5.避免遠(yuǎn)距離并行布線，走線之間要提供足夠的間距，盡量減少電感耦合。6.相鄰層（微帶線或帶狀線）上的布線應(yīng)相互垂直，防止層之間的電容耦合。7.減小信號(hào)與地平面的距離。8.拆分隔離高噪聲發(fā)射源（時(shí)鐘、I/O、高速互連），不同信號(hào)分布在不同層。9.盡可能增大信號(hào)線之間的距離，可以有效降低容性串?dāng)_。10.減小引線電感，避免使用非常高阻抗和非常低阻抗的負(fù)載，盡量將模擬電路的負(fù)載阻抗穩(wěn)定在loQ和LOKQ之間。

最常用的工藝是通過(guò)氬電暈的物理濺射來(lái)清潔表面。電暈物理清洗不會(huì)產(chǎn)生氧化副作用，保持被清洗物質(zhì)的化學(xué)純度，腐蝕作用各向異性。其缺點(diǎn)是對(duì)表面的損傷和熱效應(yīng)大，選擇性差，速度慢。反應(yīng)離子腐蝕化學(xué)清洗和物理清洗各有優(yōu)缺點(diǎn)。將這兩種機(jī)理結(jié)合在反應(yīng)離子腐蝕中，物理反應(yīng)和化學(xué)反應(yīng)同時(shí)發(fā)揮重要作用，相互促進(jìn)。該效果具有較好的選擇性、清洗率、均勻性和方向性。并行電暈清洗下游電暈又稱源室分腔電暈DPE。

電芯電極凸耳整平后，通過(guò)電暈對(duì)電極凸耳表面進(jìn)行處理，去除（機(jī)械）物、顆粒等雜質(zhì)，使焊縫表面粗糙化，保證電極凸耳焊接效果良好。

當(dāng)采用Vm(to)法計(jì)算時(shí)，在一個(gè)外加電壓周期內(nèi)，Vm(t)的均值為0，即介質(zhì)中不存在自極化。氦氣放電中的位移電流遠(yuǎn)小于輸運(yùn)電流，因此輸運(yùn)電流與實(shí)際測(cè)得的總電流基本一致，故不再單獨(dú)計(jì)算。在氣隙中，電壓Vg隨著外加電壓Va的增加而增加，然后隨著氣隙中放電的進(jìn)行而迅速降低。拐點(diǎn)對(duì)應(yīng)于氣隙的擊穿電壓。

電暈機(jī)線路圖

低溫電暈中粒子的能量一般在幾到幾十電子伏特左右，電暈機(jī)線弱電并行大于高分子材料的結(jié)合鍵能（幾到十電子伏特），可以完全打破有機(jī)大分子的化學(xué)鍵，形成新的鍵；但遠(yuǎn)低于高能放射線，只涉及材料表面，在不影響基體性質(zhì)的非熱力學(xué)平衡狀態(tài)下的低溫電暈中[1～3]，電子具有更高的能量，可以打破材料表面分子的化學(xué)鍵，提高粒子的化學(xué)反應(yīng)活性（高于熱電暈），中性粒子的溫度接近室溫。

脫脂：輪胎在生產(chǎn)過(guò)程中會(huì)有一定的油脂，電暈機(jī)線弱電并行可以用電暈處理，達(dá)到干燥，不傷表面；2.改性活化：電暈處理后，可改變表面性能，增加附著力，使輪胎涂覆時(shí)結(jié)合更牢固。03汽車儲(chǔ)物箱汽車儲(chǔ)物盒做靜電植絨時(shí)，通常在基材涂膠前先加一層底漆，使膠水與儲(chǔ)物盒的附著力更好。采用低溫電暈技術(shù)取代涂膠前的底漆涂裝技術(shù)，不僅可以活化表面，提高附著力，還可以降低成本，使工藝更加環(huán)保。