等離子體處理器廣泛應(yīng)用于等離子體清洗、等離子體刻蝕、等離子體晶片脫膠、等離子體鍍膜、等離子體灰化、等離子體活化和等離子體表面處理等領(lǐng)域。通過等離子清洗機(jī)的表面處理，金屬表面處理作用可以提高材料表面的潤濕能力，對各種材料進(jìn)行涂層和電鍍，增強(qiáng)附著力和結(jié)合力，同時去除有機(jī)污染物、油污或油脂。

選擇半導(dǎo)體工藝封裝等離子體設(shè)備新工藝的關(guān)鍵在于產(chǎn)品外后續(xù)新工藝的標(biāo)準(zhǔn)、產(chǎn)品外原有的特征化學(xué)成分和污染物的性質(zhì)。常用于氬、氧、氫、四氟化碳及其混合氣體的等離子體清洗。小銀橡膠襯底：污物橡膠銀呈球形，金屬表面處理作用會對芯片產(chǎn)生影響，尤其容易損壞芯片。采用RF等離子清洗可大大提高表面粗糙度和親水性，有利于銀膠屑和瓷磚屑。同時，使用量可節(jié)省銀膠，降低成本。

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清洗一般涉及反應(yīng)機(jī)理中的幾個環(huán)節(jié)：無機(jī)氣體被充分動員成等離子體狀態(tài)，金屬材料的表面處理氣體附著在固體表面，粘接基團(tuán)與固體表面反應(yīng)形成產(chǎn)物的分子結(jié)構(gòu)；產(chǎn)物分子結(jié)構(gòu)溶解，反應(yīng)后殘留物脫落。可以用達(dá)因筆和天線測試儀進(jìn)行測量。對不同材料反復(fù)試驗后發(fā)現(xiàn)，有的金屬制品使用壽命較長，一兩天就會失效，有機(jī)玻璃、塑料板使用壽命較短，甚至短短幾分鐘就失效。因此，材料表面經(jīng)過等離子體設(shè)備加工后，還要根據(jù)其時效效果進(jìn)行下一階段的加工。

金屬材料的表面處理

如需充氣，可選擇兩條氣路，分別設(shè)置充氣流量。那么我們就來了解一下影響等離子清洗效果的關(guān)鍵因素。（1）等離子清洗機(jī)功率等離子體密度和能量與射頻功率成正比，因此，應(yīng)加大清洗功率以提高清洗程度，提高清洗效率，但功率過高會導(dǎo)致離子溫度升高，金屬襯底或其他在高溫條件下容易氧化的材料會被氧化破壞，其他不耐高溫的部件，如塑料等也可能被損壞。

而且由于銅擴(kuò)散正勢壘層的引入，在通孔底部與底層金屬的交界處會有金屬勢壘層TaN。一般而言，鋁互連線表面覆蓋有一層氧化膜Al2O3，與鋁體具有很強(qiáng)的結(jié)合能，因此鋁中的電遷移主要沿晶界發(fā)生。當(dāng)線寬變小并呈現(xiàn)竹節(jié)狀結(jié)構(gòu)時，晶格遷移成為主要機(jī)制。而Cu表面CuO氧化物與Cu塊體的界面相對較差，為銅離子的遷移提供了高流動性通道。

而且增加了填料的邊緣高度，通過等離子清洗機(jī)提高了封裝的機(jī)械強(qiáng)度，降低了界面間因材料間熱膨脹系數(shù)不同而形成的剪應(yīng)力，提高了產(chǎn)品的可靠性和使用壽命。等離子體清洗機(jī)可以處理的對象不分，它可以處理各種材料，無論是金屬，半導(dǎo)體，氧化物，還是高分子材料都可以用等離子體清洗機(jī)處理等離子清洗機(jī)可在幾秒鐘內(nèi)潤濕表面，使油墨均勻無溶劑，具有良好的印刷附著力。由于等離子清洗機(jī)處理是固有的冷加工過程，因此也適用于熱敏材料。

簡化了制造過程，提高了結(jié)果的可靠性和一致性。活化還提高了大多數(shù)表面的潤濕性，如鋁和銅涂層。等離子體表面活化可以改善大多數(shù)金屬表面的潤濕性。提高潤濕性對于用油墨在塑料表面涂裝或印刷是非常重要的。當(dāng)你準(zhǔn)備塑料或聚四氟乙烯表面用于印刷時，提高其油漆或附著力的最有效方法是使用等離子處理。等離子表面技術(shù)為您提供最快速、最經(jīng)濟(jì)、最環(huán)保的解決方案。等離子體激活的效果是暫時的，從幾個小時到幾天不等，所以生產(chǎn)時間很重要。

表面處理基礎(chǔ)知識

在微電子封裝生產(chǎn)過程中，金屬表面處理作用由于指紋、助焊劑、各種交叉污染、自然氧化等原因，器件和材料表面會形成各種污染物，包括有機(jī)物、環(huán)氧樹脂、焊料、金屬鹽等。這些污染物會明顯影響包裝生產(chǎn)過程中相關(guān)工序的質(zhì)量。

金屬材料的表面處理方法通常有機(jī)械處理、物理處理和化學(xué)處理。低溫等離子體對金屬材料的表面改性處理是通過對金屬材料表面進(jìn)行處理或形成涂層、擴(kuò)散層來改變金屬材料的表面性能。2低溫等離子體金屬表面處理的應(yīng)用低溫等離子表面處理工藝可以改變金屬材料固有的表面力學(xué)性能，金屬表面處理作用提高金屬材料的各種性能，如耐磨性、耐腐蝕性等，還有助于提高后續(xù)噴涂、印刷、鍵合等工藝效果。