等離子體特性等離子體宏觀上是電中性的;通常等離子體是電中性的,電暈處理溫度是多少但如果受到某種擾動(dòng),其內(nèi)部會(huì)發(fā)生局部電荷分離,產(chǎn)生電場(chǎng)。例如,將帶正電荷的球體放入等離子體中,會(huì)吸引等離子體中的電子,排斥離子,從而在球體周圍形成帶負(fù)電荷的球形“電子云”。等離子體有振蕩:通常,當(dāng)?shù)入x子體處于平衡狀態(tài)時(shí),其密度分布在宏觀上是均勻的,而在微觀上則是增大的;有一個(gè)漲落,是不均勻的,這個(gè)密度漲落是振蕩的。

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初始階段用高純N2產(chǎn)生等離子體,片材電暈處理后還印不上同時(shí)預(yù)熱印制板,使高分子材料處于一定的活化狀態(tài);第二階段以O(shè)2和CF4為原始?xì)怏w,混合后產(chǎn)生O、F等離子體,與丙烯酸、PI、FR4和玻璃纖維反應(yīng),達(dá)到去除鉆井污垢的目的;第三階段以O(shè)2為原始?xì)怏w,產(chǎn)生的等離子體和反應(yīng)殘留物使孔壁清潔。在等離子體清洗過(guò)程中,除了發(fā)生等離子體化學(xué)反應(yīng)外,等離子體還與材料表面發(fā)生物理反應(yīng)。

電子和重粒子(離子、分子和原子)之間能量轉(zhuǎn)移的速率與碰撞的頻率(單位時(shí)間內(nèi)的碰撞次數(shù))成正比。在致密氣體中,片材電暈處理后還印不上碰撞頻繁,兩種粒子的平均動(dòng)能(即溫度)很容易達(dá)到平衡,因此電子溫度大致等于氣體溫度,這是氣壓在一個(gè)大氣壓以上時(shí)的常見(jiàn)情況,一般稱為熱等離子體或平衡等離子體。在低壓條件下,碰撞很少,電子從電場(chǎng)中獲得的能量不易傳遞給重粒子。此時(shí)電子溫度高于氣體溫度,通常稱為冷等離子體或非平衡等離子體。

這種高度電離的、宏觀上中性的氣體稱為等離子體。等離子體在性質(zhì)上不同于普通氣體。普通氣體是由分子組成的,電暈處理溫度是多少分子間的相互作用力是一種短程力。只有在分子碰撞時(shí),分子間的相互作用力才有明顯的作用,理論上用分子運(yùn)動(dòng)理論來(lái)描述。在等離子體中,帶電粒子之間的庫(kù)侖力是一種長(zhǎng)程力,庫(kù)侖力的作用遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)帶電粒子可能發(fā)生的局域短程碰撞效應(yīng)。

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高真空室內(nèi)的氣體分子被電能激發(fā),加速后的電子相互碰撞,使原子和分子的最外層電子被激發(fā)出軌道外,生成反應(yīng)性高的離子或自由基。由此產(chǎn)生的離子和自由基繼續(xù)相互碰撞,并被電場(chǎng)加速。并與材料表面發(fā)生碰撞,破壞原來(lái)幾微米深的分子結(jié)合方式,在孔洞中截?cái)嘁欢ㄉ疃鹊谋砻嫖镔|(zhì)形成精細(xì)凹凸,同時(shí)生成的氣體組分成為反應(yīng)性官能團(tuán)(或官能團(tuán)),在材料表面誘發(fā)物理化學(xué)反應(yīng)因此,可以去除鉆孔污漬,提高鍍銅層的附著力。

片材電暈處理后還印不上

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