在這些粒子中，電暈處理火花機(jī)正負(fù)電荷相等，所以叫電暈，是物質(zhì)除固體、液體和氣體外的第四種狀態(tài)--電暈狀態(tài)。電暈的自然形式是出現(xiàn)在南北兩極的閃電或極光。日食發(fā)生時(shí)，太陽周圍可以看到明亮的暈（日冕），這是電暈的存在形式。當(dāng)能量輸入增加時(shí)，物質(zhì)的狀態(tài)會(huì)發(fā)生變化，從固態(tài)到液態(tài)再到氣態(tài)。如果放電給氣體增加能量，氣體就會(huì)變成電暈。利用電暈轟擊，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)物體表面的蝕刻、活化和清洗等功能。

電暈用于化學(xué)反應(yīng)時(shí)，電暈處理機(jī)功率調(diào)節(jié)不了怎么辦一般采用非平衡低溫電暈輝光放電。血漿中有更多的活性。由于大多數(shù)活性物種滲透力很小，幾乎僅限于在材料表面反應(yīng)，使材料整體不受影響，短時(shí)間內(nèi)可有效改變材料表面性質(zhì)。表面活化改性主要有電暈聚合和電暈處理兩種。這種差異取決于所用氣體的類型。有聚合氣體的稱為電暈聚合，有非聚合氣體的稱為電暈處理。在不可聚合氣體中，化學(xué)活性或非活性組分會(huì)使反應(yīng)產(chǎn)生很大差異。

（2）活性氣體和非活性氣體電暈，電暈處理火花機(jī)根據(jù)產(chǎn)生電暈所用氣體的化學(xué)性質(zhì)不同，可分為非活性氣體電暈和活性氣體電暈，非活性氣體如氬(Ar)、氮?dú)?N2)、氟化氮(NF3)、四氟化碳(CF4)等，活性氣體如氧氣(O2)、氫氣(H2)等，不同類型氣體在清洗過程中的反應(yīng)機(jī)理不同，活性氣體的電暈化學(xué)反應(yīng)活性更強(qiáng)，后面將結(jié)合具體應(yīng)用實(shí)例介紹。。

因此，電暈處理機(jī)功率調(diào)節(jié)不了怎么辦電暈的腔體首先必須是鋁，而不是不銹鋼；晶圓支架的滑動(dòng)部分應(yīng)采用不易產(chǎn)生灰塵和被電暈腐蝕的材料；電極和支架易于拆卸和維護(hù)。1-2：電暈清潔器反應(yīng)室內(nèi)的電極間距、層數(shù)和氣路分布對(duì)晶圓加工的均勻性影響較大，這些指標(biāo)需要通過不斷的實(shí)驗(yàn)來優(yōu)化。1-3：在電暈清洗晶圓的過程中，會(huì)有一定量的熱量積累。需要使極板的溫度保持在一定范圍內(nèi)，因此電暈的電極通常采用水冷卻。

電暈處理火花機(jī)

此外，采用四探針法測(cè)試處理前后ITO樣品的耐阻滯性。發(fā)現(xiàn)電暈處理可以降低ITO電極的阻塞電阻，有利于器件性能的提高。綜上所述，氧電暈表面處理不僅降低了ITO的塊電阻，而且在不改變ITO薄膜晶體結(jié)構(gòu)和光學(xué)透過率的前提下，改善了ITO表面的化學(xué)組成和功函數(shù)，從而優(yōu)化了ITO陽極的物理性能。

電暈處理火花機(jī)