可以肯定，薄膜為什么要做電暈處理沒有電暈清洗技術(shù)，就沒有今天這樣發(fā)達(dá)的電子、信息和通信產(chǎn)業(yè)。此外，電暈清洗技術(shù)還應(yīng)用于光學(xué)行業(yè)、機(jī)械航天行業(yè)、高分子行業(yè)、污染防治行業(yè)和測量行業(yè)，是產(chǎn)品升級(jí)的關(guān)鍵技術(shù)。例如光學(xué)元件的涂層，延長模具或加工工具壽命的抗磨層，復(fù)合材料的中間層，機(jī)織物或隱藏鏡片的表面處理，微型傳感器的制造，超微力學(xué)的加工技術(shù)，人工關(guān)節(jié)、骨骼或心臟瓣膜的抗磨層等，都需要電暈技術(shù)的進(jìn)步才能研發(fā)完成。

電暈由許多活性基團(tuán)組成，膜為什么做電暈處理包括電子、離子、自由基和光子（紫外和可見光）。由于正負(fù)粒子數(shù)目相等，電中性，故稱&ldquo；血漿&rdquo；電暈表面處理主要有兩種反應(yīng)機(jī)理：自由基與材料的化學(xué)反應(yīng)和電暈引起的物理轟擊。

下面談?wù)劚砻嫣幚砑夹g(shù)中的電暈清洗儀器設(shè)備在汽車動(dòng)力及控制系統(tǒng)電子產(chǎn)品生產(chǎn)中的應(yīng)用。車輛動(dòng)力與控制系統(tǒng)是由眾多電子產(chǎn)品組成的電子系統(tǒng)。這些汽車電子產(chǎn)品往往需要進(jìn)行密封，薄膜為什么要做電暈處理以提高其部件的防潮性和耐腐蝕性。而且通過電暈清洗儀對(duì)電子產(chǎn)品表面進(jìn)行清洗活化，提高后續(xù)注塑、充膠等工序的附著力和可靠性，減少分層現(xiàn)象，確保電子系統(tǒng)安全穩(wěn)定運(yùn)行。。

低溫電暈利用低溫電暈對(duì)材料表面進(jìn)行處理，薄膜為什么要做電暈處理使材料表面產(chǎn)生各種物理化學(xué)變化，或蝕刻使表面粗糙，或產(chǎn)生緊密的交聯(lián)層，或注入含氧極性基團(tuán)，可增強(qiáng)材料的親水性、附著力、可染性、生物相容性和電學(xué)性能。電暈可以改變產(chǎn)品表面形貌，注入各種含氧基團(tuán)，使產(chǎn)品表面由非極性、難粘接變?yōu)橐欢O性、易粘接、親水性，有助于提高粘接、涂布、印刷效果。。

膜為什么做電暈處理

因此，如果以物理反應(yīng)為主，則需要將反應(yīng)控制在較低的壓力下，這樣清洗效果更好。電暈處理技術(shù)是電暈物理、電暈化學(xué)和氣固界面化學(xué)反應(yīng)相結(jié)合的新興領(lǐng)域。它是一個(gè)典型的高科技產(chǎn)業(yè)，需要跨越多個(gè)領(lǐng)域，包括化工、材料、電機(jī)等，因此將極具挑戰(zhàn)性，也充滿機(jī)遇。由于未來半導(dǎo)體和光電子材料的快速增長，這一領(lǐng)域的應(yīng)用需求將越來越大。。

目前，橡樹嶺實(shí)驗(yàn)室正在盡力開發(fā)一種新的電暈化學(xué)處理工藝，該工藝基于橡樹嶺國家實(shí)驗(yàn)室最近的發(fā)現(xiàn)，即對(duì)于特定分子，當(dāng)電子被高度激發(fā)時(shí)，會(huì)出現(xiàn)附著電子的大電暈截面。此外，相關(guān)科研人員正在研究放電效應(yīng)的靶向激發(fā)應(yīng)力和亞穩(wěn)態(tài)稀有氣體的激發(fā)轉(zhuǎn)移效應(yīng)，可以精確激發(fā)靶向氣體，而不會(huì)在含氮氧載氣上浪費(fèi)能量，從而大大降低處理成本。。

在非熱力學(xué)平衡低溫電暈中，電子具有更高的能量，可以打破材料表面分子的化學(xué)鍵，提高粒子的化學(xué)反應(yīng)活性（高于熱電暈），而中性粒子的溫度接近室溫。這些優(yōu)點(diǎn)為熱敏性聚合物的表面改性提供了適宜的條件。

電荷積累后，Ni(R)和Ne(R)不再均勻分布。正常情況下，質(zhì)量小的電子先達(dá)到熱平衡，而質(zhì)量大的離子仍停留在原來的位置。此時(shí)Ne(R)服從麥克斯韋分布：（1-6）式中Ve(r)=-E&phi；(R)是電子的勢能。

薄膜為什么要做電暈處理

在微電子封裝的生產(chǎn)過程中，膜為什么做電暈處理使用電暈，通過在污染分子生產(chǎn)過程中去除工件表面原子，可以輕松保證工件表面原子之間的緊密接觸，從而有效提高鍵合強(qiáng)度，提高晶圓鍵合質(zhì)量，降低泄漏率，提高組件的封裝性能、產(chǎn)量和可靠性。

惰性氣體如氬(Ar)、氮?dú)?N2)、氟化氮(NF3)、四氟化碳(CF4)和空氣，膜為什么做電暈處理活性氣體如氧氣(O2)和氫氣(H2)。不同類型氣體在清洗過程中的反應(yīng)機(jī)理不同，活性氣體的電暈具有更強(qiáng)的化學(xué)反應(yīng)活性。不同特性的氣體必須有不同的用于清洗的污染物選擇。當(dāng)一種氣體滲透一種或多種附加氣體時(shí)，這些元素的混合氣體組合可產(chǎn)生所需的蝕刻和清洗效果。