在離子增強(qiáng)蝕刻中,電暈處理機(jī)不產(chǎn)生火花當(dāng)高能粒子撞擊表面時(shí),表面會(huì)形成缺陷、位錯(cuò)或懸浮物。這些缺陷增加了表面的化學(xué)蝕刻速率,使蝕刻過程同時(shí)具有選擇性和方向性。在所有這些清洗過程中,碳?xì)浠衔锱c基底之間的鍵合被削弱,獲得的能量導(dǎo)致這些有機(jī)絡(luò)合物從基底上分離。一旦從化合物的分子基團(tuán)中分離出來,就會(huì)被惰性氣體帶走。電暈產(chǎn)生的光輻照與中性粒子流和帶電粒子轟擊相結(jié)合鍵的斷裂提供能量。
當(dāng)氣體越來越稀薄時(shí),電暈處理機(jī)觸發(fā)板線路圖分子之間的距離和分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離越來越長,它們碰撞形成電暈,會(huì)發(fā)出輝光,所以稱為輝光放電處理。電暈發(fā)生器的形成機(jī)理包括電離反應(yīng)、帶電粒子傳輸和電磁運(yùn)動(dòng)學(xué)。電暈發(fā)生器的形成和氣化過程中伴隨著電子、粒子和中性粒子的碰撞反應(yīng)。電暈中粒子的碰撞會(huì)形成活性組分。
非平衡電暈處理技術(shù)用于污染控制電暈輔助處理技術(shù)可以減少大氣污染對環(huán)境的破壞。電暈可以產(chǎn)生大量的活性成分。與傳統(tǒng)的熱激發(fā)法相比,電暈處理機(jī)觸發(fā)板線路圖電暈處理工藝可以提供更多的反應(yīng)消解途徑。非平衡電暈中電子的能量分布不同于重粒子,它們處于不平衡狀態(tài),因此可以認(rèn)為含有電子的氣體溫度遠(yuǎn)高于含有中性粒子和離子的氣體。因此,可以引導(dǎo)高能電子通過碰撞激發(fā)氣體分子,或分解電離氣體分子。
在清洗過程中,電暈處理機(jī)不產(chǎn)生火花電暈可以增強(qiáng)這些材料的附著力、相容性和潤濕性。目前,電暈表面處理器可廣泛應(yīng)用于光電子、高分子材料、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域。電暈發(fā)生器生產(chǎn)能力在線,并可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)清洗。
電暈處理機(jī)不產(chǎn)生火花
電暈表面清洗可以去除污垢層、不需要的聚合物涂層和一些加工聚合物的弱邊緣2.聚合物表面復(fù)合:用于電暈燒蝕的惰性氣體破壞聚合物表面的共價(jià)鍵,使聚合物表面出現(xiàn)獨(dú)立的官能團(tuán),并與聚合物鏈中的獨(dú)立官能團(tuán)重新結(jié)合,形成原有的聚合物結(jié)構(gòu)。在聚合物鏈中,能量基團(tuán)形成附近具有獨(dú)立官能團(tuán)的鍵或鏈,聚合物表面重組可以提高表面硬度和耐化學(xué)性。3.聚合物的表面改性。
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