環(huán)氧乙烷滅菌目前存在許多環(huán)保和安全問題:其一是環(huán)氧乙烷 具有致癌與致過敏作用，海南等離子設(shè)備滅菌后物品上有殘留，對操作人員及器械使用者有損害，對周圍環(huán)境有影響;滅菌設(shè)備需要安裝專用的通風管道，滅菌后物品需要放置16~48小時以上方可使用。其二是高濃度環(huán)氧乙烷與空氣混合易爆，通常采用12%環(huán)氧乙烷與88%氟利昂的混合氣體，但氟利昂嚴重破壞地球臭氧層，面臨淘汰。

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當塑料部件放置在放電途徑中時，放電中發(fā)生的電子以大約2到3倍的能量沖擊表面，以損壞大部分襯底表面上的分子鍵。這發(fā)生了十分活潑的自由基。這些在氧氣存鄙人的自由基能夠快速反應，在基片表面構(gòu)成各種化學官能團。由這種氧化反應發(fā)生的官能團在添加表面能量和增強與樹脂基體的化學鍵合方面是有用的。這些包含羰基（-C = O-）。（HOOC-），氫過氧化物（HOO-）和羥基（HO-）基團。

幸運的是，這種情況適用于以下情況：無定形碳的蝕刻速率約為每分鐘20納米，可用作石墨烯蝕刻的阻擋層。從現(xiàn)有的刻蝕原理和經(jīng)驗分析來看，氧等離子體與氬等離子體混合不僅保證了化學刻蝕的強度，而且通過用較重的氬等離子體撞擊石墨烯具有更高的偏壓，還可以通過電壓加速。它對比較厚的石墨烯薄膜進行物理攻擊以達到蝕刻的目的，但顯然物理蝕刻效果并不大，去除殘留物，對底層薄膜造成沖擊和損壞。

常用的除油方法包括溶劑脫脂, 堿液脫脂和電化學脫脂。2.1 溶劑除油皂化油和非皂化油都很好地溶于有機溶劑中, 因此它們可以用溶劑脫脂。它具有速度快, 簡單方便, 基本無腐蝕的特點。溶劑脫脂通常用揮發(fā)性有機溶劑, 例如丙酮, 甲基乙基酮, 三氯乙烯, 乙酸乙酯, 無水乙醇, 溶劑汽油, 四氯化碳等。有時使用混合溶劑更佳。

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