而富含聚合物的蝕刻工藝，貴州在線式等離子清洗機(jī)多少錢趨向于減小保證接觸孔的良好開通、控制高深寬比接觸孔的側(cè)壁形狀和良好的尺寸均勻性的工藝窗口，而所有這些正是工藝整合為實(shí)現(xiàn)更為嚴(yán)格的 電性特征提出的對(duì)蝕刻工藝的要求。除此之外，光刻技術(shù)對(duì)于圖形曝光需要厚度更薄的、更少未顯影的光刻膠，這些要求又增加了接觸孔蝕刻工藝對(duì)光刻膠的更高的選擇性，來防止接觸孔的圓整度變差。
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1. CO2分子與高能電子的非彈性碰撞； 2.系統(tǒng)中的 CHx 和 H 等活性物質(zhì)會(huì)激活 CO2； 3.催化劑吸附 CO2 分子，貴州在線式等離子清洗機(jī)多少錢與 C-0 結(jié)合，促進(jìn) CO 鍵的斷裂和 CO。并產(chǎn)生活性O(shè)原子。顯然，在等離子體催化的聯(lián)合作用下，路徑 3 對(duì)于 CH4 和 CO2 的轉(zhuǎn)化無疑是重要的。等離子體中催化劑的活化主要取決于與高能電子的碰撞。
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