本文主要介紹等離子清洗機(jī)的操作流程及操作注意事項(xiàng)，方便大家在使用過程中，合理正確的使用設(shè)備，避免一些錯(cuò)誤操作。
等離子清洗機(jī)也被稱為等離子表面處理儀，是一種比較新穎的技術(shù)，它利用等離子體來清潔，可以達(dá)到常規(guī)清洗無法企及的水平。與激光清洗的直射光線不同，等離子體的方向性不強(qiáng)，這使得它可以深入表面的細(xì)微孔洞和凹陷的內(nèi)部。高精度的時(shí)間和功率控制，不會使基片表面產(chǎn)生損傷，表面質(zhì)量得到保證。具有去除能力極強(qiáng)，非接觸式清洗，操作簡便，無二次污染的強(qiáng)大優(yōu)勢。
它的工作原理是在真空條件下對充入的氣體等離子化，利用產(chǎn)生的高速運(yùn)動的離子、電子、自由基和活性基團(tuán)等活性成分處理材料表面，實(shí)現(xiàn)清潔效果，同時(shí)能夠提高材料表面潤濕特性，改善表面黏著力，改善材料的表面特性。
等離子清洗機(jī)操作流程如下：
（1）接通電源，打開開關(guān)，按照說明書要求進(jìn)行操作。首先檢查等離子清洗機(jī)連接的氮?dú)馄亢脱鯕馄窟B接正常且氣體充足，擰開氮?dú)庠粗鏖y，使減壓閥的壓力調(diào)節(jié)在0.4bar左右，打開氣源開關(guān)；
（2）把需要清潔的材料放在擱板上，如果材料尺寸太小可以先放進(jìn)托盤再放擱板上，關(guān)好艙門。
（3）在控制面板上按“ENTER”鍵進(jìn)入調(diào)節(jié)，選擇需要的進(jìn)氣口、功率和時(shí)間。
（4）選好后按“Start”開始。在近真空艙室中，射頻電源在高壓下使氣體起輝，產(chǎn)生高能等離子體，轟擊材料表面，達(dá)到清潔效果。5%氬氣+95%氮?dú)饨M合發(fā)出粉紅色輝光。
（5）結(jié)束后等待外部氣體充滿艙室后方可打開艙門。如果氣體沒有充滿艙室，不要強(qiáng)行開門。打開腔室，取出清洗好的樣品；再次放置樣品清洗。為了使每個(gè)樣品得到充分清洗，一次放置樣品數(shù)量不宜過多。
（6）待所有樣品被清洗完成，關(guān)閉所有氣源開關(guān)及主閥，將等離子清洗機(jī)艙門關(guān)閉。
等離子清洗機(jī)的操作注意事項(xiàng)如下：
注意事項(xiàng)：侵蝕性溶液、氣體或揮發(fā)性物質(zhì)可能會污染或破壞機(jī)器，酒精、鹽酸、碘等需要謹(jǐn)慎處理，不能直接裸露放置在清潔艙內(nèi)；機(jī)器不防潮，注意不要把溶液灑在上面；如果關(guān)閉了全部兩枚氣閥，當(dāng)工作艙內(nèi)和管道內(nèi)殘余氣體耗盡時(shí)，就會停止工作，此時(shí)艙內(nèi)近似真空，艙門無法打開使需要重啟進(jìn)氣，不能強(qiáng)行開門；當(dāng)指針上浮到頂端，示數(shù)并不代表當(dāng)時(shí)艙內(nèi)氣壓，可能是氣閥開得過大，氣壓已經(jīng)大于要設(shè)定的量，此時(shí)應(yīng)該略微關(guān)小氣閥，讓浮動指針下降一些；高壓真空危險(xiǎn)，工作時(shí)艙內(nèi)還可能產(chǎn)生高溫，肢體勿要直接接觸擱板；若廢氣有害，清潔完畢還要先接通管道通向處理池。246912469124691