等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，無機(jī)涂層的附著力機(jī)理是也叫做物質(zhì)的第四態(tài)，并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。

反應(yīng)室中的氣態(tài)輝光放電包括離子、電子、自由基等活性物質(zhì)的等離子體，涂層的附著力主要包括通過擴(kuò)散吸附到介質(zhì)表面，與介質(zhì)表面的原子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，形成揮發(fā)性物質(zhì)。同時，高能離子在一定的壓力下對介質(zhì)表面進(jìn)行物理轟擊和刻蝕，去除重沉積的反應(yīng)產(chǎn)物和聚合物。通過化學(xué)和物理相互作用來完成介質(zhì)層的蝕刻。

離子在宇宙的其他地方很豐富，涂層的附著力主要包括但僅限于地球上的某些環(huán)境中。自然產(chǎn)生的離子包括閃電和極光。正如將固體變成氣體需要能量一樣，產(chǎn)生離子也需要能量。隨著溫度的升高，物質(zhì)從固態(tài)變?yōu)橐簯B(tài)，液態(tài)變?yōu)闅鈶B(tài)。當(dāng)氣體溫度升高時，氣體分子被分離成原子。隨著溫度繼續(xù)升高，原子核周圍的電子與原子分離，形成離子（正電荷）和電子（負(fù)電荷）。這種現(xiàn)象稱為“電離”。通過電離而帶有離子的氣體稱為“等離子體”。

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無機(jī)涂層的附著力機(jī)理是

等離子體即電離了的"氣體"，它呈現(xiàn)出高度激發(fā)的不穩(wěn)定態(tài)，等離子體中存在下列物質(zhì):處于高速運(yùn)動狀態(tài)的電子;處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(tuán)(自由基);離子化的原子、分子;分子解離反應(yīng)過程中生成的紫外線;未反的分子、原子等，但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。

  太空和天體物理中的等離子體：太陽和其他恒星（其中等離子體由于熱核聚變供給能量產(chǎn)生），太陽風(fēng)，行星際物質(zhì)（存在與行星之間），星際物質(zhì)（存在于恒星之間），星系際物質(zhì)（存在于星系之間），木衛(wèi)一與木星之間的流量管，吸積盤，星際星云。。等離子體化工：  利用等離子體的高溫或其中的活性粒子和輻射來促成某些化學(xué)反應(yīng)，以獲取新的物質(zhì)。

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這反過來又導(dǎo)致相反方向的電荷分離，產(chǎn)生反向返回電場，在那里電子再次被拉回并沖過平衡位置。重復(fù)地，電子在平衡位置附近集體來回振蕩。由于離子質(zhì)量大，對電場的變化響應(yīng)較慢，因此可視為靜止不動，仍充當(dāng)均勻正電荷返回。當(dāng)這種中性在等離子體中被打破時的空間電荷振蕩。

涂層的附著力主要包括