（2）基態(tài)CO2分子吸收能量轉(zhuǎn)變?yōu)榧ぐl(fā)態(tài)CO2分子，增加油漆附著力噴丸顯然CO2轉(zhuǎn)化主要依賴于前者。 在相同的plasma等離子體條件下，純CH4和純CO2的轉(zhuǎn)化率分別為10.9%和9.4%， CH4和CO2共進(jìn)料時CH4和CO2轉(zhuǎn)化率均高于上述數(shù)值，說明CH4和CO2共進(jìn)料 有利于兩者的共活化。 當(dāng)體系內(nèi) CO2濃度由15%增至35%時，C2烴收率略有增加；隨著體系內(nèi)CO2濃度的進(jìn)一步增加，C2烴收率逐漸下降。

甲烷和乙烷的混合氣廣泛存在于天然氣、油田氣、精煉氣、催化分解氣中，增加油漆附著力噴丸乙烷的相對含量較低。分離和純化甲烷和乙烷并單獨使用它們的成本很高。實際需要使用含有一部分乙烷的甲烷作為轉(zhuǎn)化反應(yīng)的原料而不進(jìn)行分離。我國已探明石油儲量2.27×1017T，天然氣儲量1.97×1021M3。隨著上述PLASMA資源的不斷開發(fā)利用，天然氣、油田氣、精煉氣和催化裂化氣中的乙烷含量將成倍增加。

CO2添加量對等離子等離子體下CH4轉(zhuǎn)化反應(yīng)的影響：在O2等離子體甲烷氧化偶聯(lián)反應(yīng)中，增加油漆附著力噴丸O2的加入量直接影響CH4的轉(zhuǎn)化率和C2烴的選擇性，O2的加入量減少。 CH4的轉(zhuǎn)化率如下。少量、過量添加 O2 會導(dǎo)致 CH4 氧化為 COx (x = 1, 2)。等離子體作用下的CO2氧化CH轉(zhuǎn)化反應(yīng)還包括加入適量的CO2。隨著供氣中CO2濃度從15%增加到85%，CH4的轉(zhuǎn)化率逐漸提高，從以下結(jié)果可以看出轉(zhuǎn)化率。

另外，增加油漆附著力噴丸大量的離子持續(xù)轟擊基體表面，產(chǎn)生類似于噴丸處理的效果，導(dǎo)致基體表面的應(yīng)力狀態(tài)發(fā)生改變、產(chǎn)生塑性變形、促進(jìn)了基體表面缺陷的產(chǎn)生，甚至對基體的表面粗糙度也存在著影響，繼而達(dá)到了基體的表面改性。而這些基體的表面改性會降低原子的擴(kuò)散激活能、提供擴(kuò)散通道甚至擴(kuò)散驅(qū)動力，從而促進(jìn)了原子的擴(kuò)散。因此，離子轟擊一方面有效去除了基體表面氧化膜，起到了表面清潔作用；另一方面改變了基體表面狀態(tài)，實現(xiàn)了基體的表面改性。

增加油漆附著力噴丸

其基本原理是：在低氣壓下，由ICP射頻電源向環(huán)形耦合線圈輸出，通過耦合輝光放電，混合刻蝕氣體通過耦合輝光放電，產(chǎn)生高密度等離子體，在下電極RF作用下，在基片表面轟擊，基片圖形區(qū)域內(nèi)的半導(dǎo)體材料的化學(xué)鍵被打斷，與刻蝕氣體產(chǎn)生揮發(fā)性物質(zhì)，使氣體脫離基片，抽離真空管道。

因為真空等離子體清洗過程需要治療,通常是在線或批量生產(chǎn),所以,當(dāng)?shù)入x子體清洗設(shè)備引入到生產(chǎn)線,我們必須考慮到清洗工件的存儲和傳輸,尤其是當(dāng)工件體積更大,更重要的是,數(shù)量這個問題應(yīng)該加以考慮。綜上所述，等離子體清洗技術(shù)適用于清洗物體表面的油、水和顆粒，有利于“快速”在線或批量清洗。。

通過對各種數(shù)據(jù)的比較，等離子體表面處理機(jī)具有處理效果好、在線處理、成本低、節(jié)能環(huán)保、可監(jiān)控等優(yōu)點，已成為該領(lǐng)域較為理想的加工技術(shù)。

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