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聚合物中的聚合物化學鍵被分離成小分子，附著力最強的膠帶是什么這些小分子被汽化并從入口真空泵中排出。同時，經過氬等離子清洗后，可以改變材料表面的微觀形貌，使材料在分子范圍內粗化，表面活性和結合性能顯著提高。氬等離子體的優(yōu)點是它可以清潔材料表面而不會留下任何氧化物質。缺點是可能會在其他不需要的區(qū)域發(fā)生過度腐蝕或污染顆粒的重新積累，但這些缺點可以通過微調工藝參數(shù)來控制。。

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受電場效果，它們發(fā)生磕碰而構成等離子體，這些離子的活性很高，其能量足以損壞幾乎一切的化學鍵，在任何顯露的外表引起化學反應，不同氣體的等離子體具有不同的化學功用，如氧氣的等離子體具有很高的氧化性，能氧化光刻膠反應生成氣體，然后抵達清洗的效果；腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性，這樣就能滿意刻蝕的需求。 運用等離子處理時會宣告輝光，故稱之為輝光放電處理。

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