至于一些中小企業(yè)，國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)附著力要求距上述奮斗目標(biāo)相距很遠(yuǎn)?？偟膩砜矗砻婀こ坦ぷ髡咴诮档蛯?duì)環(huán)保負(fù)面效應(yīng)方面，仍是任重而艱巨。 表面工程具有學(xué)科的綜合性，手段的多樣性，廣泛的功能性及潛在的創(chuàng)新性，因而受到各行各業(yè)的重視。其產(chǎn)生的經(jīng)濟(jì)效益更是令人矚目。目前，我國(guó)技術(shù)門類齊全，部分表面技術(shù)的設(shè)備、材料和工藝已達(dá)到了國(guó)際先進(jìn)水平。

低溫等離子體是指部分或完全電離的混合氣體，附著力劃叉對(duì)應(yīng)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)自由電子和離子攜帶的正負(fù)電荷總數(shù)完全抵消，從宏觀上看表現(xiàn)為中性電性。低溫等離子體清洗機(jī)在國(guó)際上分為熱低溫等離子體和冷低溫等離子體。熱低溫等離子體的電離率近%，電子和離子的溫度相當(dāng)，被視為熱平衡低溫等離子體。如低溫等離子弧、沖壓發(fā)動(dòng)機(jī)的低溫等離子射流和熱可控核聚變低溫等離子體。冷低溫等離子體的電離率很低，電子的溫度遠(yuǎn)高于離子的溫度，因此被視為非熱平衡低溫等離子體。

高頻放電的頻率一般為10M～100MHz，附著力劃叉對(duì)應(yīng)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)這一頻率屬于無線電頻譜范圍，因此又稱為射頻(RF)放電，根據(jù)國(guó)際通用的規(guī)則射頻放電的頻率為13.56MHz。

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國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)附著力要求

由于等離子體清洗是在高真空下進(jìn)行的，等離子體中各種活性離子的休閑路徑很長(zhǎng)，它們的穿透力和穿透力很強(qiáng)，可以處理雜亂的結(jié)構(gòu)，包括細(xì)管、盲孔等。

主電路的供電由接觸器控制;氣體的通短由電磁閥控制;由控制電路控制高頻振蕩器引燃電弧，并在電弧建立后使高頻停止工作。。

單噴頭用于精確的處理，多噴頭用于特殊形狀物體的處理，以及拓展性噴嘴用于更廣泛的應(yīng)用- 該技術(shù)幾乎可應(yīng)用于整個(gè)工業(yè)界。

主要過程包括:首先,工件清洗到真空室固定,啟動(dòng)真空泵和其他設(shè)備開始大約10 pa真空度的真空排氣;然后介紹等離子體清洗氣體進(jìn)入真空室(根據(jù)不同的清洗材料,氣體是不同的,如氧、氫、氬、氮、等),在真空室中，在電極與接地裝置之間施加高頻電壓，將氣體擊穿并通過輝光放電使其電離，產(chǎn)生等離子體。待真空室中產(chǎn)生的等離子體完全覆蓋被清洗工件后，開始清洗操作，清洗過程從幾十秒到幾分鐘不等。

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