高壓脈沖等離子清洗機技術
1提出了用高壓毫微秒脈沖產生的非平衡等離子體處理印染廢水的方法。
2采用四極質譜儀測量了試驗參數對高壓脈沖增強射頻磁控濺射ptfe靶等離子體氣氛的影響規(guī)律。
3等離子體源離子注入裝置由脈沖負高壓源系統、熱陰極弧放電系統、真空室及樣品臺、真空系統和監(jiān)測系統等五部分組成。
