nc=1.2425×108v2
其中nc為等離子體密度(cm-3)，v為激發(fā)頻率(Hz)。常見的等離子體激發(fā)頻率有三種：超聲波等離子體激發(fā)頻率為40kHz，射頻等離子處理機(jī)等離子體激發(fā)頻率為13.56MHz，微波等離子體激發(fā)頻率為2.45GHz。
等離子處理機(jī)頻率
各種等離子體產(chǎn)生不同的自偏壓。超聲波等離子體的自偏壓約為1000V，射頻等離子處理機(jī)等離子體的自偏壓約為250V，微波等離子體的自偏壓非常低，只有幾十伏，且三種等離子體的作用機(jī)理不同。
超聲波等離子體的反應(yīng)是物理反應(yīng)，射頻等離子處理機(jī)等離子體的反應(yīng)是物理和化學(xué)反應(yīng)，微波等離子體的反應(yīng)是化學(xué)反應(yīng)。24557