1、小技巧、操作簡單、易維護。
2、引進德國核心等離子技術(shù)，質(zhì)量有保障。
3、進口針閥精密流量控制計，精度高。
4、316不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕，環(huán)保不產(chǎn)生金屬污染。
5、多路工藝反應氣體通道，保證產(chǎn)品清洗效果。
6、可以根據(jù)客戶需求定制。
型 號
JL-VM05
等離子源系統(tǒng)
頻 率
13.65MHz 射頻
功 率
300W （連續(xù)可調(diào)，精度為1W）
真空系統(tǒng)
真空腔體
材質(zhì)
石英
腔體內(nèi)部尺寸
φ155*260mm（直徑*深度)
腔體容積
5 L
密封性
軍工級焊接密封
泵
真空泵
油泵/干泵
處理溫度
＜60°C
流量計
浮子流量計
氣路控制
2路處理氣體氣路，氣體流量可調(diào)
真空度
10Pa --100Pa
工藝氣體
Ar、N?、CF?、O?、H?等（可選）
外觀參數(shù)
外形尺寸
650*480*420mm（寬*深*高）
重 量
55kg
設施配置
電 力
單相三線制AC220V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規(guī)范》等國標標準相關(guān)規(guī)定。
