微組裝模塊的引線鍵合前清洗，清洗過程不會損傷裸芯片等敏感、易損器件；對電子材料、金屬材料、塑料、玻璃、橡膠、PTFE等，表面進(jìn)行清洗，活化改性，去有機(jī)物，去氧化物，去顆粒；提升親水性，增強(qiáng)粘接性，附著力，分子活性。
型號
JL-VM60
等離子源系統(tǒng)
頻 率
13.56MHz 射頻
40KHz 中頻
功 率
0~1000W可調(diào)
0-3000W可調(diào)
選 配
真空系統(tǒng)
真空腔體
材質(zhì)
316L不銹鋼、航空鋁（選配）
腔體內(nèi)部尺寸(MM)
400*400*400（寬高深)
腔體容積
60L
極板
5層極板5層托盤可拆卸式,層間距30mm，水平式，活動可調(diào)節(jié)
可放最大產(chǎn)品尺寸
320mm*280mm
密封性
軍工級焊接密封
泵
泵組
油泵/干泵+羅茨泵組合（選配）20?/H
真空管路
不銹鋼管、不銹鋼波紋管
真空計(jì)
1×105~1×10-1Pa
質(zhì)量流量計(jì)
＜±1% FS 質(zhì)量流量控制（MFC）系統(tǒng)
氣路控制
2-4路處理氣體氣路，氣體流量可調(diào)
真空度基礎(chǔ)壓力設(shè)定范圍
10Pa-50Pa
適用氣體
流量范圍
0-500SCCM（可調(diào)）
工藝氣體
Ar、N?、O?、H?等等（可選）
控制系統(tǒng)
1、PLC 自動控制；
2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面；
3、配方程序?yàn)?/span> 0~99；
4、多級權(quán)限操作；
5、圖形化曲線圖自動監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)及錯誤信息；
6、存儲工藝數(shù)據(jù)及錯誤信息；
7、配備聲光報(bào)警裝置,報(bào)警信息提示及追溯；
8、保護(hù)功能：工作氣體耗盡報(bào)警、壓縮空氣力低于設(shè)定值報(bào)警、反應(yīng)倉泄露率過大報(bào)警、控制面板處設(shè)急停按鈕等
9、免靜電清洗等多種清洗模式
10、圖形化界面檢測處理參數(shù)；
11、自動、手動操作可切換；
12、維護(hù)提示緊急停止按鈕；
13、門感應(yīng)器和真空互鎖；
14、顯示功能：工藝參數(shù)顯示；運(yùn)行時間顯示；工藝過程實(shí)時監(jiān)視并顯示運(yùn)行狀態(tài)，如泵的、射頻電源監(jiān)視并顯示運(yùn)行狀態(tài)，如泵的、射頻電源監(jiān)視并顯示運(yùn)行狀態(tài)，如泵的、 射頻電源質(zhì)量流量等；故障報(bào)警，提示項(xiàng)目
15、機(jī)器運(yùn)行信號指示；
16、機(jī)器運(yùn)行結(jié)束提示；
17、設(shè)備無WIFI，無藍(lán)牙，無讀卡器等相關(guān)裝置
外觀參數(shù)
外形尺寸(MM)
900*1750*900(寬高深）
重 量
320KG
設(shè)施配置
電 力
五線線三相制AC220V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設(shè)計(jì)規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設(shè)計(jì)規(guī)范》等國標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定
整機(jī)功率
2KW
壓縮空氣
干燥壓縮空氣CDA 0.5MPa
其 它
提供操作手冊、維護(hù)手冊、安裝手冊，易損件備件清單.
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