金屬電極的設(shè)計(jì)對(duì)電暈清洗效率有顯著的干擾，電暈機(jī)處理光電材料主要包括金屬電極的材料、布局和尺寸。對(duì)于內(nèi)部金屬電極電暈表面處理器來(lái)說(shuō)，由于金屬電極暴露在電暈中，某些材料的金屬電極會(huì)被某些電暈刻蝕或?yàn)R射，這會(huì)造成很多不必要的環(huán)境污染，導(dǎo)致金屬電極尺寸的改變，從而干擾電暈清洗系統(tǒng)的穩(wěn)定性。金屬電極的布局對(duì)電暈表面處理器的速度和均勻性有很大的干擾。

電暈接枝氨基的主要因素是處理時(shí)間和放電功率。如果一個(gè)氨基分子與膜上的一個(gè)寡核苷酸分子偶聯(lián)，薄膜電暈機(jī)處理機(jī)視頻在后續(xù)的deDMT反應(yīng)中就會(huì)有一個(gè)DMT分子被除去，且DMT稀溶液在酸性介質(zhì)中符合Lambert-Beer定律，在498nm左右有較大的吸收峰。電暈處理后，表面變厚，孔徑變大更清晰。這是由于電暈中的離子、激發(fā)分子和自由基與材料表面的各種相互作用。

在產(chǎn)生的電暈中，電暈機(jī)處理光電材料當(dāng)電子溫度等于離子溫度和氣體溫度時(shí)，電暈稱(chēng)為平衡電暈或高溫電暈；當(dāng)電子溫度遠(yuǎn)高于離子溫度和氣體溫度時(shí)，電暈為非平衡電暈或低溫電暈。目前，低溫電暈主要用于材料的表面改性。在材料表面改性中，主要是利用低溫電暈轟擊材料表面，使材料表面分子的化學(xué)鍵打開(kāi)，與電暈中的自由基結(jié)合，在材料表面形成極性基團(tuán)。

自由電子在電場(chǎng)E的作用下加速產(chǎn)生高能電子E*:E+E&RARR；E*(3-26)（2）引發(fā)自由基反應(yīng)。高能電子與乙烷分子發(fā)生彈性和非彈性碰撞。

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與電暈相比，電暈的內(nèi)部成分是多樣而活躍的，同時(shí)又具有化學(xué)和電學(xué)特性。當(dāng)具有相應(yīng)能量和化學(xué)性質(zhì)的電暈與PTFE聚四氟乙烯反應(yīng)時(shí)，可以打破PTFE表面的C-F鍵，同時(shí)引入極性基團(tuán)填充F原子的分離，形成粘附表面。

2.高分子材料表面清洗：電暈作用通過(guò)高能電子和離子轟擊材料表面來(lái)機(jī)械地去除污垢層。電暈清洗劑清洗可以去除某些加工后的聚合物中可能存在的污垢層、不必要的聚合物表面涂層和弱邊界層。3.聚合物表面改性：電暈破壞聚合物表面的化學(xué)鍵，導(dǎo)致聚合物表面形成自由官能團(tuán)。根據(jù)電暈過(guò)程氣體的化學(xué)性質(zhì)，這些表面自由官能團(tuán)與電暈中的原子或化學(xué)基團(tuán)結(jié)合形成新的聚合物官能團(tuán)，取代原有的表面聚合物。

與傳統(tǒng)的有機(jī)溶劑清洗相比，低溫電暈發(fā)生器有很多優(yōu)點(diǎn)，主要有以下幾點(diǎn)：1.無(wú)環(huán)境污染，無(wú)清洗劑，清洗效率高，清洗方便快捷。2.具有良好的表面活性劑，還能活化物品表層，增強(qiáng)表層附著力，使表層發(fā)生轉(zhuǎn)變。3.附著力性能指標(biāo)好，廣泛應(yīng)用于電子器件、航空航天、醫(yī)療設(shè)備、紡織等領(lǐng)域。低溫電暈發(fā)生器技術(shù)已越來(lái)越多地應(yīng)用于襯底填料區(qū)的活化、清洗和澆注和鍵合前的制備處理。。

但由于我國(guó)大陸是全球功率半導(dǎo)體消費(fèi)大區(qū)，2020年繼續(xù)高于40%，而且功率半導(dǎo)體的使用規(guī)模已經(jīng)從傳統(tǒng)的工控和4C行業(yè)（計(jì)算機(jī)、通信、消費(fèi)電子、汽車(chē)）轉(zhuǎn)變。向新能源、軌道交通、智能電網(wǎng)等新領(lǐng)域拓展，并在國(guó)內(nèi)熱點(diǎn)使用領(lǐng)域積極開(kāi)拓布局，有望成為功率半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的突破口，因此未來(lái)我國(guó)功率半導(dǎo)體發(fā)展空間可期。

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