化學(xué)反應(yīng)只能在分子能量超過(guò)活化能的情況下發(fā)生。常規(guī)化學(xué)中，能量是由分子與分子或分子與壁面之間的磕碰來(lái)傳遞的。等離子體中，一方面，振動(dòng)能按一定順序增加到小的響應(yīng)能量；另一方面，電子與分子的碰撞能傳遞更多的能量，使中性分子變?yōu)槎鄠€(gè)活性成分，或使中等活性成分電離，而新的成分則主要包括超活性中性粒子、陽(yáng)離子和陰離子。
傳統(tǒng)的化學(xué)反應(yīng)不能產(chǎn)生很多新的成分，但等離子體卻成為一種非常強(qiáng)大的化學(xué)操作手段，它背負(fù)著催化作用。一般而言，溫度較低的反應(yīng)，也許一定溫度下反應(yīng)速度加快的反應(yīng)，都是受等離子體的影響。但在能量范圍分布很廣的等離子體中，電子的激發(fā)或離子化并不具有選擇性。一種等離子體系統(tǒng)中，許多不同類型的活性粒子都能引起大量的反應(yīng)，在反應(yīng)過(guò)程中，特別重要的、有重大意義的粒子幾乎是不可能被操縱的。高能量粒子可以破壞等離子體環(huán)境中分子的共價(jià)鍵。
利用強(qiáng)局域場(chǎng)參與到高能電子和非平衡等離子體中強(qiáng)電子散射函數(shù)的尾部，有可能產(chǎn)生新的化學(xué)反應(yīng)。等離子體環(huán)境有利于產(chǎn)生許多化學(xué)反應(yīng)。氣體種類、流速、壓強(qiáng)、輸入功率等工藝參數(shù)決定某一反應(yīng)能否產(chǎn)生首要輸入工藝參數(shù)。邊境與底端之間也會(huì)有多種反應(yīng)。燒蝕率和堆積率是通過(guò)相關(guān)表面處理得到的。用有機(jī)蒸汽作工作氣體時(shí)，會(huì)發(fā)生等離子體的聚合和聚集。刻蝕堆積過(guò)程中，材料表面與等離子體中原有的或新生成的成分發(fā)生反應(yīng)，即表面條件，如污染物、阻聚劑、阻檔層、氣體吸附等，都會(huì)對(duì)過(guò)程動(dòng)力學(xué)和堆積薄膜特性產(chǎn)生影響。等離子體中的分子被分解成高活性的成分，這些高活性的成分隨后與有機(jī)物發(fā)生反應(yīng)。氫氣既能與雙鍵相連，又能從其它分子中分離出來(lái)。氧類等離子體中，電離和解離能的成分很多。其他的，也可以構(gòu)成像O2(1△g)這樣的亞穩(wěn)態(tài)成分。
對(duì)于氧原子來(lái)說(shuō)，重要的反應(yīng)就是加入一個(gè)雙鍵，CH鍵變成羥基或羧基。氮?dú)饪梢院惋柡突虿伙柡头肿影l(fā)生反應(yīng)。等離子體化學(xué)的一個(gè)有趣的發(fā)展是，把原來(lái)簡(jiǎn)單的分子分解成混亂的分子結(jié)構(gòu)。典型的反應(yīng)包括：異構(gòu)化，消除原子或小基團(tuán)，二聚/聚合，以及破壞原始數(shù)據(jù)等等，例如，甲烷、水、氮和氧等氣體通過(guò)輝光放電的混合，終獲得了來(lái)自生命的物質(zhì)——氨基酸。等離子體中存在順?lè)串悩?gòu)化，成環(huán)，開(kāi)環(huán)反應(yīng)。除單分子反應(yīng)外，還能產(chǎn)生雙分子反應(yīng)。24555