（1）化學反應(yīng)化學反應(yīng)中常用的氣體有氫氣(H2)、氧氣(02)、甲烷(CF4)等，鋼結(jié)構(gòu)防腐漆附著力這些氣體在等離子體中反應(yīng)成高活性自由基，方程是這些自由基會進一步與材料表面發(fā)生反應(yīng)。其反應(yīng)機理主要是利用等離子體中的自由基與材料表面反應(yīng)。壓力較高時，有利于自由基的產(chǎn)生。因此，如果化學反應(yīng)是主要反應(yīng)，就需要控制較高的壓力來反應(yīng)。

等離子體是指部分或完全電離的氣體，鋼結(jié)構(gòu)防腐漆附著力自由電子和離子攜帶的正負電荷之和完全抵消，宏觀上表現(xiàn)為中性電性。等離子體又稱等離子體，是由原子電離產(chǎn)生的部分電子和正電子被剝奪的原子組成的電離氣態(tài)物質(zhì)。它廣泛存在于宇宙中，常被認為是除固體、液體和氣體之外的第四種物質(zhì)狀態(tài)。等離子體可分為高溫等離子體和低溫等離子體兩種。低溫等離子體表面處理（點擊查看詳情）電離率更低，電子溫度遠高于離子溫度，離子溫度甚至可以相當于室溫。

大氣等離子清洗4、等離子蝕刻在等離子蝕刻的過程中，防腐漆附著力等級被蝕刻的物體由于處理氣體的影響而變成氣相（例如，如下圖所示，使用氟氣蝕刻硅時）。工藝氣體和基體材料由真空泵抽出，表面不斷被新工藝氣體覆蓋。預計蝕刻部分不會被材料覆蓋（例如，半導體行業(yè)使用鉻作為掩蔽材料）。等離子方法也用于蝕刻塑料表面，填充的混合物被氧氣焚燒，并且可以一起獲得分布分析。

物理反應(yīng)機制是活性粒子轟擊待清洗表面，哪種防腐漆附著力最強使污染物脫離表面最終被真空泵吸走;化學反應(yīng)機制是各種活性的粒子和污染物反應(yīng)生成易揮發(fā)性的物質(zhì)，再由真空泵吸走揮發(fā)性的物質(zhì)。以物理反應(yīng)為主的等離子體清洗，其優(yōu)點在于本身不發(fā)生化學反應(yīng)，清潔表面不會留下任何的氧化物，可以保持被清洗物的化學純凈性;缺點就是對表面產(chǎn)生了很大的損害，會產(chǎn)生很大的熱效應(yīng)，對被清洗表面的各種不同物質(zhì)選擇性差，腐蝕速度較低。

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它去除材料，從而鉆孔污染，并提高鍍銅的結(jié)合強度。在等離子清洗機中對等離子體的化學反應(yīng)起化學作用的粒子主要是陽離子和氧自由基粒子。氧自由基在化學反應(yīng)過程中激活（化學）能量轉(zhuǎn)移。受激氧自由基具有高能量，容易與物體表層的分子結(jié)構(gòu)融合，生成新的氧自由基。等離子清洗機新產(chǎn)生的氧自由基也處于不穩(wěn)定的高能??狀態(tài)，可能會發(fā)生分解反應(yīng)，產(chǎn)生新的氧自由基，變成更小的分子。

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