MOON 等人 131 使用 CU (DMAMB) 2 作為銅前驅(qū)體，甘肅等離子式除膠渣機(jī)價(jià)位并使用氫等離子體技術(shù)在 100-180°C 沉積范圍內(nèi)形成銅薄膜。沉積速率為0.065NM/EYCLE，膜中碳和氧的雜質(zhì)含量在5%左右?？埔翣柕热恕?| 41采用等離子增強(qiáng)ALD技術(shù)，用新型含氮雜環(huán)碳銅前驅(qū)體（COPPER（1）NHCS）沉積銅薄膜，在90℃的前驅(qū)體溫度和沉積溫度下具有電阻。 . 225C膠卷。

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目的是去除和除濕并檢查是否漏氣。聽漏氣聲，拉動真空室門，看是否密封。確保壓力表達(dá)到約-100KPA。 B.將托盤中承載的產(chǎn)品放入反應(yīng)室。 C。輕輕按下反應(yīng)室門，按下面板上的綠色啟動開關(guān)，啟動真空泵。 D、壓力表的真空值約為-101KPA。如果觀察到離子輝光放電現(xiàn)象，則處于加工狀態(tài)。同時(shí)可以設(shè)置反應(yīng)氣體的輸出大小和注入量。 （反應(yīng)氣體根據(jù)工藝要求選擇，不用時(shí)鎖定關(guān)閉。

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