環(huán)氧乙烷滅菌目前存在許多環(huán)保和安全問題:其一是環(huán)氧乙烷 具有致癌與致過敏作用，海南等離子設(shè)備滅菌后物品上有殘留，對(duì)操作人員及器械使用者有損害，對(duì)周圍環(huán)境有影響;滅菌設(shè)備需要安裝專用的通風(fēng)管道，滅菌后物品需要放置16~48小時(shí)以上方可使用。其二是高濃度環(huán)氧乙烷與空氣混合易爆，通常采用12%環(huán)氧乙烷與88%氟利昂的混合氣體，但氟利昂嚴(yán)重破壞地球臭氧層，面臨淘汰。

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當(dāng)塑料部件放置在放電途徑中時(shí)，放電中發(fā)生的電子以大約2到3倍的能量沖擊表面，以損壞大部分襯底表面上的分子鍵。這發(fā)生了十分活潑的自由基。這些在氧氣存鄙人的自由基能夠快速反應(yīng)，在基片表面構(gòu)成各種化學(xué)官能團(tuán)。由這種氧化反應(yīng)發(fā)生的官能團(tuán)在添加表面能量和增強(qiáng)與樹脂基體的化學(xué)鍵合方面是有用的。這些包含羰基（-C = O-）。（HOOC-），氫過氧化物（HOO-）和羥基（HO-）基團(tuán)。

幸運(yùn)的是，這種情況適用于以下情況：無定形碳的蝕刻速率約為每分鐘20納米，可用作石墨烯蝕刻的阻擋層。從現(xiàn)有的刻蝕原理和經(jīng)驗(yàn)分析來看，氧等離子體與氬等離子體混合不僅保證了化學(xué)刻蝕的強(qiáng)度，而且通過用較重的氬等離子體撞擊石墨烯具有更高的偏壓，還可以通過電壓加速。它對(duì)比較厚的石墨烯薄膜進(jìn)行物理攻擊以達(dá)到蝕刻的目的，但顯然物理蝕刻效果并不大，去除殘留物，對(duì)底層薄膜造成沖擊和損壞。

常用的除油方法包括溶劑脫脂, 堿液脫脂和電化學(xué)脫脂。2.1 溶劑除油皂化油和非皂化油都很好地溶于有機(jī)溶劑中, 因此它們可以用溶劑脫脂。它具有速度快, 簡單方便, 基本無腐蝕的特點(diǎn)。溶劑脫脂通常用揮發(fā)性有機(jī)溶劑, 例如丙酮, 甲基乙基酮, 三氯乙烯, 乙酸乙酯, 無水乙醇, 溶劑汽油, 四氯化碳等。有時(shí)使用混合溶劑更佳。

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