采用較高功率或等離子體具有的高能粒子數(shù)量較多時,粉體顆粒間的附著力和重力這些粒子及等離子體中的紫外射線會對材料表面產(chǎn)生轟擊作用,進(jìn)而實現(xiàn)材料表面的刻蝕、交聯(lián)及表面活化等。當(dāng)來自聚合物表面一個鏈的自由基與來自另一個鏈的自由基結(jié)合形成鍵時,就會在聚合物表面發(fā)生交聯(lián)。表面活化作用涉及表面自由基與原子或化學(xué)官能團(tuán)的重組,形成與材料表面官能團(tuán)不同的基團(tuán),進(jìn)而獲得具有不同性質(zhì)的表面,實現(xiàn)表面改性。
在整個清洗過程中,粉體顆粒間的附著力和重力污染物在外部的分子結(jié)構(gòu)非常容易與高能氧自由基緊密結(jié)合形成新的氧自由基,這些新的氧自由基也處于高能狀態(tài),極不穩(wěn)定,它很容易將自身轉(zhuǎn)化為更小的分子結(jié)構(gòu),當(dāng)產(chǎn)生新的氧自由基時,這樣的全流程將持續(xù)進(jìn)行,直到轉(zhuǎn)化為穩(wěn)定易揮發(fā)的簡單小分子,使污染物從金屬表面分離出來,在這個整個過程中,氧自由基的關(guān)鍵功效在于活化全過程的能量轉(zhuǎn)移,在氧自由基與外界污染物分子結(jié)構(gòu)緊密結(jié)合的全過程中,會釋放出很多結(jié)合能,釋放出的能量作為推動外界污染物分子結(jié)構(gòu)新的活化反射的驅(qū)動力,有助于污染物在等離子體的活化作用下被更徹底地消除。
不僅如此,粉體顆粒間的附著力和重力整個等離子清洗進(jìn)程是比較安全的,不會讓操作人員遭到溶劑的傷害,一起也保證的清洗目標(biāo)的清洗作用,避免選用濕法清洗對清洗目標(biāo)的破壞。除此之外,在整個清洗進(jìn)程中運用的溶劑都是綠色環(huán)保的清洗劑,不會對環(huán)境形成污染。
除磁場外,粉體顆粒間的附著力和重力如果存在其他外力F,粒子除沿磁場作垂直運動外,還具有回旋和漂移兩種運動。漂移運動是指拉莫爾圓的中心(引導(dǎo)中心)隨磁場的垂直運動,這種運動可以是由靜電或重力引起的。在磁場不均勻的情況下,磁場梯度和磁場曲率也可以引起漂移。靜電使正電荷和負(fù)電荷相等地漂移,所以不產(chǎn)生電流。與不產(chǎn)生靜電的正電荷和負(fù)電荷漂移相反,產(chǎn)生了電流。由于磁場在時間和空間上變化緩慢,粒子的運動可以看作是回旋運動和中心引導(dǎo)運動的疊加。
粉體顆粒間的附著力和重力
帶電粒子在均勻恒定的磁場中運動是非常簡單的。平行場的等速運動和垂直場的等速運動是繞磁力線的圓周運動(拉莫爾圓),即帶電粒子的回旋運動。如果除磁場外還有其他外力F,粒子除了沿磁場垂直運動外,還會作回旋運動和漂移運動。漂移運動是指拉莫爾圓的圓心(導(dǎo)心)隨磁場垂直運動,可由靜電或重力引起。在磁場不均勻的情況下,漂移也可由磁場梯度和磁場曲率引起。靜電引起的正負(fù)電荷漂移是相同的,因此不產(chǎn)生電流。
平行磁場是勻速運動,垂直磁場是繞磁力線做圓周運動(ramer circle),即帶電粒子的回旋運動。當(dāng)有磁場以外的另一個外力F時,粒子沿磁場運動,在與磁場垂直的方向上,一側(cè)做回旋運動,另一側(cè)做漂移運動。漂移運動是拉莫爾圓的中心(即導(dǎo)軌的中心)垂直于磁場的運動,可以由靜電力或重力引起。在磁場不均勻的情況下,磁場梯度、磁場曲率等也會引起漂移。此外,由于靜電力引起的正負(fù)電荷漂移相同,因此不會產(chǎn)生電流。
由于是在真空中進(jìn)行,不污染環(huán)境,保證清洗表面不受二次污染。。目前在微電子清洗工藝中,濕法清洗仍占主導(dǎo)地位。但從對環(huán)境的影響、原材料的消耗以及未來的發(fā)展來看,干洗明顯優(yōu)于濕法清洗。在干洗中,等離子清洗發(fā)展迅速且優(yōu)勢明顯,等離子清洗已逐漸廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、微電子封裝、精密機(jī)械等行業(yè)。
同時,由于絕緣介質(zhì)的存在,放電過程中形成的壁電荷有效地限制了放電電流的無限增長,避免了高壓下電弧或火花放電的形成。 "產(chǎn)生DBD等離子體。由于等離子處理設(shè)備的惰性氣體,它不含反應(yīng)性粒子,當(dāng)使用惰性氣體DBD對材料表面進(jìn)行改性時,表面基團(tuán)的引入主要是等離子體處理。由于器件表面產(chǎn)生大量等離子體。 DBD等離子體作用后的物質(zhì)被放置在空氣中時的物質(zhì)。它是由分子自由基和空氣中的物質(zhì)結(jié)合產(chǎn)生的。
附著力和附著作用
此時,附著力和附著作用在剪切應(yīng)力作用下,膠粘劑的厚度越大,接縫的強(qiáng)度越大。(2)剝離應(yīng)力:當(dāng)粘接材料變軟時,就會發(fā)生剝離應(yīng)力。此時界面上有拉應(yīng)力和剪應(yīng)力,力集中在膠粘劑和膠粘劑界面上,所以接頭容易損壞。由于剝離應(yīng)力具有很強(qiáng)的破壞性,在設(shè)計中應(yīng)盡量避免產(chǎn)生剝離應(yīng)力的接頭。。
反應(yīng)性氣體主要是化學(xué)反應(yīng),粉體顆粒間的附著力和重力經(jīng)電離后,自由基與表面污染物發(fā)生反應(yīng),將生產(chǎn)中的揮發(fā)性物質(zhì)排出,達(dá)到清洗的目的。氫氣主要利用其還原作用與被清洗零件表面的污染物發(fā)生反應(yīng),如金屬表面的氧化物清洗。氫作為放電氣體參與反應(yīng)產(chǎn)生還原反應(yīng),材料表面的氧化物與放電產(chǎn)生的氫離子反應(yīng)生成水。氧氣主要利用其氧化作用,如去除零件表面的有機(jī)物。氧作為氣體參與反應(yīng)產(chǎn)生氧化反應(yīng),材料表面的有機(jī)物被氧電離產(chǎn)生的氧離子氧化,形成二氧化碳和水。