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另一方面，環(huán)氧富鋅涂料附著力當(dāng)各種活性粒子與被清洗物表面接觸時(shí)，各種活性粒子與被清洗物表面的雜質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，產(chǎn)生揮發(fā)性氣體等，將揮發(fā)性物質(zhì)抽真空。 .例如，ROS 等離子體氧化材料表面的有機(jī)物質(zhì)。反之，隨著各種活性顆粒與清洗劑表面碰撞，材料表面的雜質(zhì)被真空泵的氣流吸收。等離子表面處理機(jī)本身不會(huì)引起化學(xué)反應(yīng)，不會(huì)在被洗物表面留下氧化物，因此可以更好地保持被洗物的純度，保證材料的各向異性。 三極管的形狀就是三極管的形狀。

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4)電磁輻射區(qū)域內(nèi)的高頻表面等離子體不同于激光束等直接照射。鑒于表面等離子體的導(dǎo)電性較弱，它可以穿透物體內(nèi)部的微孔和凹陷來完成清洗任務(wù)，所以不需要過多考慮被清洗物體的形狀。而這些難清洗區(qū)域的清洗效果和氟利昂的清洗似乎比較好。表面等離子體表面處理機(jī)需要控制真空度pa，容易達(dá)到潔凈條件。

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一般把電子間碰撞達(dá)到熱力學(xué)平衡的溫度稱為Te，也就是電子溫度。而當(dāng)等離子表面處理設(shè)備離子碰撞時(shí)，達(dá)到熱力學(xué)平衡的溫度是Ti，也就是離子溫度，實(shí)際上，Te和Ti通常是不同的。高氣壓條件接近大氣壓時(shí)放電，則電子、離子、中性粒子將因激烈碰撞而充分交換動(dòng)能，使等離子體達(dá)到熱平衡狀態(tài)，電子溫度與離子溫度相近，屬低溫等離子體中的熱等離子體。

對(duì)于電容耦合高頻等離子體源，保持在平行電極之間的等離子體主要由高頻電場(chǎng)加熱。大多數(shù)電容耦合射頻等離子體反應(yīng)堆是不磁化的，工作頻率在1和MHz之間。它們對(duì)電磁場(chǎng)的電荷響應(yīng)低于電子等離子體反應(yīng)器，即。

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