非彈性碰撞導致激發(fā)(分子或原子中的電子從低能級躍遷到高能級)。能級)、解離(分子分解成原子)或電離(分子或原子從外部電子的鍵合狀態(tài)變?yōu)樽杂呻娮樱?。熱氣體通過傳導、對流和輻射將能量傳遞到周圍環(huán)境。在穩(wěn)態(tài)下,硬板等離子體清洗機特定體積的輸入能量和損失能量相等。電子與重粒子(離子、分子、原子)之間的能量轉移率與碰撞頻率(每單位時間的碰撞次數(shù))成正比。

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階段是到達基質(zhì)表面的碳。以基體表面缺陷、金剛石子晶等為中心的原子的成核和生長。因此,硬板等離子體清洗設備決定金剛石成核的因素有: 1. 基體數(shù)據(jù):由于成核取決于基體表面碳飽和程度和到達核心的碳量,因此基體數(shù)據(jù)的臨界濃度以及碳分散因子對成核有顯著影響。 .色散因子越高,就越難達到成核所需的臨界濃度。有了這些數(shù)據(jù),很難直接對鐵、鎳和鈦等金屬基體進行成核。另外,對于碳色散因子低的數(shù)據(jù),金剛石可以快速成核,如鎢、硅等。

與組件的小面積接觸導致與熔合接觸,硬板等離子體清洗機這發(fā)生在材料之間并形成失效原因。此外,零件的高速運轉擴大了損壞的來源,導致附著的零件撕裂或剝落并嵌入摩擦副之間。這些硬質(zhì)顆粒在兩個滑動面之間形成切削作用,破壞摩擦面,造成熔合磨損。這種由熔合磨損引起的過程本質(zhì)上是“以兩個滑動面局部熔合為特征的嚴重損傷”。

由于速度較慢,硬板等離子體清洗機當板材沿厚度方向受熱時,其頂面和底面將一起處于塑性狀態(tài)。板的正面先受熱,板的背面受熱時先膨脹,使板產(chǎn)生很小的反向彎曲變形。由于加熱速度較慢,來自正面的熱量緩慢地傳遞到背面,導致正面和背面之間的溫度梯度非常小。在相對較大的受熱區(qū)域,材料隨著溫度的升高繼續(xù)熱膨脹,相鄰區(qū)域的冷材料需要限制膨脹,從而導致受熱區(qū)域的整體壓縮更大。

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這種結構就是護套層,可以是上面的電容器。電容器處于放電環(huán)境中,電荷存儲在表面上,從而產(chǎn)生電場。電場必須對應于電壓。由于平衡,也就是這個電場,和電壓是動態(tài)的靜電場,也就是直流電場和直流電壓,就形成了一個VDC。腔室的內(nèi)壁接地,形成的偏置場阻擋電子,因此這個 VDC 在接地的內(nèi)壁上具有負值或負偏置。施加到電極上的負偏壓與射頻電壓一起形成復合電壓,如下圖所示。

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