二、等離子體表面處理設(shè)備聚合工藝的應(yīng)用方向等離子體表面處理設(shè)備等離子體聚合工藝形成的聚合物薄膜不同于一般聚合物薄膜，膠膜達(dá)因值單位在性能上被賦予了新的功能，因此成為開發(fā)功能性聚合物薄膜的有效途徑，并廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子、Yi治療等領(lǐng)域的后續(xù)特定產(chǎn)品中。1）光刻膠膜；2）電子元件及傳感器薄膜；3）生物醫(yī)用專用膜；4）光學(xué)材料反射膜；5）疏水/親水膜、離型膜、絕緣膜、防銹膜等。。

氧分子和電子混合在等離子體中，膠膜達(dá)因值單位其中自由氧原子具有很強(qiáng)的空氣氧化能力（約10-20%)，在高頻電壓下與晶圓光刻膠膜發(fā)生反應(yīng):O2→O*+O*，CxHy+O*→CO2↑+H2O↑。產(chǎn)生的二氧化碳和水發(fā)生反應(yīng)，立即被泵出。表面等離子刻蝕機(jī)等離子除膠機(jī)具有使用方便、效率高、表面清潔、無劃傷、成本低、綠色環(huán)保等特點(diǎn)。

COF封裝結(jié)構(gòu)示意圖如圖1-2所示，膠膜達(dá)因值單位上面為俯視圖，下面為側(cè)面圖。圖1-2 COF 封裝技術(shù)結(jié)構(gòu)示意圖通過ACF（AnisotropicConductiveFilm，異性導(dǎo)電膠膜）將COF撓性基板、IC、玻璃面板線路進(jìn)行連接，并使用傳統(tǒng)回流焊將COF撓性基板與被動元件（電容、電阻等）焊接，就構(gòu)成了一個完整的COF封裝顯示模塊，圖1-3為COF封裝顯示模塊示意圖。

在塑料袋印刷過程中，啞膠膜達(dá)因值測那一面為了更好地提高產(chǎn)品的水平，為了更好地提高防水防潮的基本功能，或者為了保證印刷品在商品流通中不被摩擦，首飾盒、手表盒、牙膏盒、煙盒、酒盒、禮品盒、彩盒的外觀一般都會有表面處理，如環(huán)保水輕油或UV油或啞膠膜。這時(shí)，如果膠接界面還沒有做表面處理，就會出現(xiàn)粘接不穩(wěn)脫膠的問題。

啞膠膜達(dá)因值測那一面

在塑料袋印刷過程中，為了更好地提高產(chǎn)品的水平，為了更好地提高防水防潮的基本功能，或者為了保證印刷品在商品流通中不被摩擦，首飾盒、手表盒、牙膏盒、煙盒、酒盒、禮品盒、彩盒的外觀一般都會有表面處理，如環(huán)保水輕油或UV油或啞膠膜。這時(shí)，如果膠接界面還沒有做表面處理，就會出現(xiàn)粘接不穩(wěn)脫膠的問題。

印刷包裝表面開膠 就用研創(chuàng)等離子表面處理解決在印刷包裝工藝中，為了提高產(chǎn)品的檔次，為了提高防水功能，或者保證印刷品在流通中不被蹭花，首飾盒、表盒、牙膏盒、煙盒、酒盒、禮品盒、彩盒的表面一般都會有表面處理，如：過環(huán)保水光油或上UV油或過啞膠膜。這時(shí)，如果粘接口做了表面處理，就會出現(xiàn)粘接不牢固，開膠的現(xiàn)象。

等離子體清洗技術(shù)的最大特點(diǎn)是不分處理對象的基材類型，均可進(jìn)行處理，對金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料，如聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環(huán)氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理，并可實(shí)現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。

尤其是處理時(shí)間超過7分鐘時(shí)，木材表面受高能電子影響較大，離子相對不間斷，儲能大，局部區(qū)域蝕刻過深。等離子火焰處理機(jī)在木材表面有大量的含氧官能團(tuán)和過氧化物。對于某些羧基、羰基等顯色基團(tuán)，等離子體高能放電使木材表面溫度升高，更容易出現(xiàn)局部顏色。它變暗并導(dǎo)致碳化。對木材進(jìn)行低溫等離子放電處理，處理時(shí)間優(yōu)選為3分鐘。。

膠膜達(dá)因值單位

局部均勻性以 LER 為特征，啞膠膜達(dá)因值測那一面Cu 突起的電場強(qiáng)度遠(yuǎn)高于其他區(qū)域的電場強(qiáng)度，使介質(zhì)擊穿的可能性更大。通過優(yōu)化圖案化方法，例如在溝槽蝕刻中使用金屬硬掩模，可以顯著提高 LER。隨著圖形尺寸的縮小，LER的影響越來越大，如何用精細(xì)的圖形手段提高LER是一個永恒的主題。由于蝕刻后的溝槽總是具有一定的傾斜角，例如85°，因此電介質(zhì)頂面的寬度不僅取決于蝕刻所定義的尺寸，還取決于化學(xué)機(jī)械拋光的深度。