等離子去膠機(jī) 135L

產(chǎn)品型號(hào) JL-RR12
產(chǎn)品類(lèi)別 等離子去膠機(jī)
應(yīng)用范圍
對(duì)電路板、外延片、芯片、環(huán)氧基光刻膠去除。適用于所有的基材及復(fù)雜的幾何構(gòu)形都可以進(jìn)行等離子體去膠、活化、刻蝕、清洗、鍍膜。

對(duì)電路板、外延片、芯片、環(huán)氧基光刻膠去除。適用于所有的基材及復(fù)雜的幾何構(gòu)形都可以進(jìn)行等離子體去膠、活化、刻蝕、清洗、鍍膜。

型號(hào)	JL-RR12
等離子源系統(tǒng)	頻率		13.56MHz 射頻
	功率		0~1000W可調(diào)
			選配
真空系統(tǒng)	真空腔體	材質(zhì)	316L不銹鋼、航空鋁（選配）
		腔體內(nèi)部尺寸	360800650（寬高深(MM))
		腔體容積	135L
		處理最大尺寸	12英寸
		密封性	軍工級(jí)焊接密封
	泵	真空泵	油泵/干泵+羅茨泵組合（選配）
		真空管路	不銹鋼管、不銹鋼波紋管
	真空計(jì)		1×105~1×10-1Pa
	質(zhì)量流量計(jì)		＜±1% FS
	氣路控制		2-4路處理氣體氣路，氣體流量可調(diào)
	極限真空		5Pa
適用氣體	流量范圍		0-500SCCM（可調(diào)）
	工藝氣體		Ar、N?、O?、H?等等（可選）
控制系統(tǒng)	1、PLC 自動(dòng)控制；
	2、7寸觸摸屏,圖形用戶(hù)界面；
	3、配方程序?yàn)?0~99；
	4、多級(jí)權(quán)限操作；
	5、圖形化曲線(xiàn)圖自動(dòng)監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài)及錯(cuò)誤信息；
	6、存儲(chǔ)工藝數(shù)據(jù)及錯(cuò)誤信息；
	7、報(bào)警信息提示及追溯；
	8、圖形化界面檢測(cè)處理參數(shù)；
	9、自動(dòng)、手動(dòng)操作可切換；
	10、維護(hù)提示緊急停止按鈕；
	11、門(mén)感應(yīng)器和真空互鎖；
	12、機(jī)器運(yùn)行信號(hào)指示；
	13、機(jī)器運(yùn)行結(jié)束提示；
外觀參數(shù)	外形尺寸(MM)		6401700840(寬高深）
	重量		280KG
設(shè)施配置	電力		五線(xiàn)線(xiàn)三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線(xiàn)符合《低壓配電設(shè)計(jì)規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線(xiàn)路設(shè)計(jì)規(guī)范》等國(guó)標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定
	壓縮空氣		干燥壓縮空氣CDA
	其它		提供操作手冊(cè)、維護(hù)手冊(cè)、安裝手冊(cè)，易損件備件清單.
質(zhì)保、售后服務(wù)和技術(shù)支持	質(zhì) 保		一年免費(fèi)的維保和備件免費(fèi)更換
	技術(shù)支持		接到設(shè)備故障通知1個(gè)小時(shí)內(nèi)提供遠(yuǎn)程技術(shù)支持，對(duì)遠(yuǎn)程無(wú)法定位解決的問(wèn)題，提供現(xiàn)場(chǎng)維修服務(wù)
	培訓(xùn)		設(shè)備正式試用前，提供完整、免費(fèi)的技術(shù)培訓(xùn)