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深圳市金徠技術有限公司

ShenZhen City JinLai Technology Co.,Ltd.

等離子去膠機 30L

  • 產(chǎn)品型號 JL-VM30
  • 產(chǎn)品類別 等離子去膠機
  • 應用范圍

    對電路板、外延片、芯片、環(huán)氧基光刻膠去除。適用于所有的基材及復雜的幾何構形都可以進行等離子體去膠、活化、刻蝕、清洗、鍍膜。


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對電路板、外延片、芯片、環(huán)氧基光刻膠去除。適用于所有的基材及復雜的幾何構形都可以進行等離子體去膠、活化、刻蝕、清洗、鍍膜。


 

JL-VM30

等離子源系統(tǒng)

 

13.56MHz 射頻

 

300W可調(diào)

真空系統(tǒng)

真空腔體

材質(zhì)

航空鋁

腔體內(nèi)部尺寸

400*300*300mm(寬*深*高)

托盤有效尺寸

320*180mm

物料托盤層數(shù)

4層托盤、可拆卸式

腔體容積

30L

密封性

軍工級焊接密封

真空泵

油泵/干泵

真空管路

不銹鋼管、不銹鋼波紋管

真空計

1*105~1*10-1Pa

質(zhì)量流量計

±1% FS

氣路控制

標配2路(可定制)

真空度

5Pa-30ppa

適用氣體

流量范圍

0-500SCCM(可調(diào))

工藝氣體

Ar、N?、O?、H?等等(可選)

外觀參數(shù)

外形尺寸

640*750*1700mm (寬*深*高)

 

280kg

設施配置

 

五線線三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規(guī)范》等國標標準相關規(guī)定


等離子去膠機 30L應用

1、引進德國核心等離子技術,質(zhì)量有保障。

2、進口針閥精密流量控制計,精度高。

3、316不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕,環(huán)保不產(chǎn)生金屬污染。

4、多路工藝反應氣體通道,保證產(chǎn)品清洗效果。

5、可以根據(jù)客戶需求定制。



1、引進德國核心等離子技術,質(zhì)量有保障。

2、進口針閥精密流量控制計,精度高。

3、316不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕,環(huán)保不產(chǎn)生金屬污染。

4、多路工藝反應氣體通道,保證產(chǎn)品清洗效果。

5、可以根據(jù)客戶需求定制。




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