深圳市金徠技術(shù)有限公司 2022-04-01 15:44:18 技術(shù)知識 759 閱讀
答:等離子體頻率有三種:激發(fā)頻率為 40kHz的子體為超聲等離子體13.56MHz的等離子體為射頻等離子體,2.45GHz的等離子體為微波等離子體。