FPC Plasma 高功率擴(kuò)展型等離子表面處理機(jī)
與擴(kuò)展型一樣具有雙倍的清洗速率,高功率擴(kuò)展型等離子清洗機(jī)是一款多功能的工具,適用于刻蝕有機(jī)薄膜(10--100nm)以及表面活化改性。
PDC-HP高功率擴(kuò)展型等離子清洗機(jī)
PDC-001-HP (116V); PDC-002-HP (229V)
主要特點(diǎn):
緊湊臺(tái)式設(shè)備、沒(méi)有RF放射、符合CE安全標(biāo)準(zhǔn)。
功率為低、中、高三檔可調(diào)。 低檔功率相當(dāng)于PDC-2 擴(kuò)展型等離子清洗機(jī)的高檔功率設(shè)置 清洗腔:長(zhǎng)6.5英寸,直徑6英寸的耐熱玻璃腔體 , 腔蓋可拆卸 帶有視窗的鉸鏈門 自動(dòng)風(fēng)扇冷卻 集成真空泵開關(guān) 1/8NPT針孔閥控制氣流及腔體壓力; 整機(jī)尺寸:11英寸H × 18英寸W × 9英寸D; 重量:37 lbs; 選配件 石英等離子清洗腔; 氣體流量混合器; 真空泵;
參考客戶
蘭州大學(xué) 鄭州大學(xué) 上海交通大學(xué) 上海復(fù)旦大學(xué) 合肥工業(yè)大學(xué) 成都電子科技大學(xué) 北京大學(xué) 清華大學(xué)醫(yī)工所 蘭州化物所 中科院納米所 等等
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