等離子清洗設(shè)備一般包括反應(yīng)腔室,漆膜的附著力是什么意思電控系統(tǒng),射頻電源,真空系統(tǒng)以及操作系統(tǒng)等,射頻等離子清洗設(shè)備的原理是通過(guò)真空系將真空腔體袖至10-30PA左右的真空度,然后向真空腔體中通入氬氣或者氧氣等反應(yīng)氣體,當(dāng)真空度約為10-100PA時(shí)開(kāi)啟巧頻電源,調(diào)節(jié)射頻匹配電源,起輝形成等離子體。

漆膜的附著力的形成

當(dāng)發(fā)生CUO還原時(shí),漆膜的附著力是什么意思CUO與H2混合氣體-大氣plasma裝置的等離子體接觸,氧化物將發(fā)生化學(xué)還原,并形成水蒸氣?;旌蠚庵泻蠥r/H2或N2/H2,其中大量H2含量低于5%。對(duì)于大氣plasma設(shè)備而言,其發(fā)揮作用的時(shí)候具有極高的氣物消耗量。

產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個(gè)電極形成電場(chǎng),漆膜的附著力是什么意思用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度,隨著氣體愈來(lái)愈稀薄,分子間距及分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離也愈來(lái)愈長(zhǎng),受電場(chǎng)作用,它們發(fā)生碰撞而形成等離子體,這些離子的活性很高,其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵,在任何暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng),不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性能,如氧氣的等離子體具有很高的氧化性,能氧化光刻膠反應(yīng)生成氣體,從而達(dá)到清洗的效果;腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性,這樣就能滿足刻蝕的需要。

在真空室內(nèi)的電極與接地裝置之間施加高頻電壓,漆膜的附著力的形成使氣體被擊穿,并通過(guò)輝光放電而發(fā)生等離子化和產(chǎn)生等離子體,讓在真空室產(chǎn)生的等離子體完(全)籠罩住被處理工件,開(kāi)始清洗作業(yè),一般清洗處理持續(xù)幾十秒到幾十(分)鐘不等。清洗完畢后切斷電源,并通過(guò)真空泵將氣體和氣化的污垢抽走排出。 等離子體清洗的另一個(gè)特點(diǎn)是在清洗完成之后物體已被徹底干燥。

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這是因?yàn)楫?dāng)CO2濃度較高時(shí),系統(tǒng)中的活性氧種類(lèi)過(guò)多,它們與CH4分子相互作用生成氧化產(chǎn)物,與生成的C2烴類(lèi)產(chǎn)物相互作用生成C2H6和C2H4,這是為了便于轉(zhuǎn)化. ,而C2H2則轉(zhuǎn)化為氧化產(chǎn)物。 CO 產(chǎn)率隨著 CO2 濃度的增加而增加,當(dāng) CO2 濃度超過(guò) 50% 時(shí)達(dá)到一個(gè)恒定值。同時(shí),隨著系統(tǒng)中 CO2 濃度從 15% 增加到 85%,產(chǎn)品中 H2 與 CO 的摩爾比從 3.5 下降到 0.6。

超聲波清洗機(jī)結(jié)構(gòu)示意圖一般來(lái)講,當(dāng)超聲波的高頻(20~50kHz)機(jī)械振動(dòng)傳遞給液體清洗介質(zhì)以后,液體清洗介質(zhì)在高頻波振動(dòng)下會(huì)產(chǎn)生接近真空的“空腔泡”,“空腔泡”將會(huì)對(duì)清洗對(duì)象產(chǎn)生空化作用,以達(dá)到清洗的目的。

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