主要過程包括：首先將待清洗工件送入真空室固定，油墨為什么附著力不良啟動真空泵等裝置抽真空排氣至10Pa左右的真空度；然后將用于等離子體清洗的氣體引入真空室（根據(jù)清洗材料的不同，選擇的氣體也不同，如氧氣、氫氣、氬氣、氮氣等），壓力保持在Pa左右；在真空室內(nèi)的電極與接地裝置之間施加高頻電壓，使氣體分解并通過輝光放電使其電離，產(chǎn)生等離子體；真空室內(nèi)產(chǎn)生的等離子體覆蓋被清洗工件后，清洗作業(yè)開始，清洗過程持續(xù)數(shù)十秒至數(shù)分鐘。

這樣當(dāng)給電極兩端施加足夠高的交流電壓，pa對油墨為什么附著力差電極之間氣體即使在大氣壓下也能夠被高壓擊穿，形成所謂的DBD放電。這種等離子清洗儀放電與輝光放電相似，表現(xiàn)得很均勻、散漫和穩(wěn)定，其實際上是由許多細(xì)小的快脈沖放電通道構(gòu)成的。通常放電氣體的壓強(qiáng)可達(dá)到1 atm (1 atm = 1.013X 10^5 Pa)，因此DBD放電屬于高氣壓下的非熱平衡放電，又被稱為無聲放電。

簡單如開頭所說，油墨為什么附著力不良等離子清洗需要在真空狀態(tài)下進(jìn)行（一般需要保持在Pa周圍），因此需要真空泵抽真空。

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油墨為什么附著力不良

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電子和原子，在等離子體狀態(tài)下擺脫原子束縛的中性原子、分子和離子無序運動，能量很高，但整體是中性的。高真空室內(nèi)的氣體分子被電能激發(fā)，加速后的電子相互碰撞，使原子和分子的外層電子被激發(fā)出軌道外，生成反應(yīng)性高的離子或自由基。由此產(chǎn)生的離子和自由基繼續(xù)相互碰撞，并被電場加速。

其中，物理反應(yīng)機(jī)制是活性粒子轟擊待清洗表面，使污染物脫離表面最終被真空泵吸走；化學(xué)反應(yīng)機(jī)制是各種活性的粒子和污染物反應(yīng)生成易揮發(fā)性的物質(zhì)，再由真空泵吸走揮發(fā)性的物質(zhì)，從而達(dá)到清洗目的。 我們的工作氣體，經(jīng)常用到氫氣（H2）、氮氣（N2）、氧氣（O2）、氬氣（Ar）、甲烷（CF4）等。

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