電暈處理技術(shù)簡單環(huán)保，油浸牛皮紙電暈處理清洗效果明顯。對于盲孔結(jié)構(gòu)是非常有效的。電暈清洗是指高活性電暈在電場作用下定向運動，與孔壁鉆污發(fā)生氣固化學(xué)反應(yīng)。同時，產(chǎn)生的氣體產(chǎn)物和一些未反應(yīng)的顆粒由吸入泵排出。電暈在HDI板盲孔清洗中一般分為三個步驟。

根據(jù)化學(xué)成分分析的電子能譜(ESCA)和透射電鏡(SEM)的測量結(jié)果，油浸牛皮紙電暈處理在距離表面數(shù)萬埃到數(shù)千埃的范圍內(nèi)，界面的物理性質(zhì)可以得到顯著改善，但材料的體相不受影響。如果采用高能輻射或電子束進(jìn)行輻射處理，不可能只對薄薄的表面層進(jìn)行改性，因為其作用還會涉及材料內(nèi)部，從而改變連體相的特性，從而大大限制了適用范圍；但它更適合于在較厚的表面層中要求交聯(lián)結(jié)構(gòu)的加工，如線材包層的硬化。。

3.1表面有機(jī)層電暈灰化襯底表面進(jìn)行化學(xué)轟擊如下圖所示：在真空瞬時高溫條件下，油浸牛皮紙電暈處理部分污染物蒸發(fā)，污染物在高能離子沖擊下被真空粉碎攜出。電路板在生產(chǎn)過程中使用時，不可避免地會在基板表面沾染一些汗?jié)n、油漬等污染物。有些污染物使用普通電路板脫脂劑很難去除，但電暈處理可以很好地達(dá)到去除這些有機(jī)污染物的效果。3.2襯底表面電暈刻蝕在電暈刻蝕過程中，被刻蝕物體會在處理氣體的作用下轉(zhuǎn)變?yōu)闅庀唷?/p>

中國科學(xué)院電暈物理研究所研究員孟躍東告訴記者，油浸牛皮紙進(jìn)行電暈處理電暈中帶電粒子之間的相互作用非常活躍，利用這一特性可以完成各種數(shù)據(jù)的表面修飾。用于制鞋，可防止傳統(tǒng)工藝造成的化學(xué)污染，增加膠水粘度。目前，低溫電暈技術(shù)在工業(yè)應(yīng)用中較為常見，但在我國的應(yīng)用還十分有限。例如，羊毛染色工藝采用氯化工藝，不僅產(chǎn)生廢水污染，而且氈縮效應(yīng)較大（導(dǎo)致衣物縮水）。如果采用電暈技術(shù)處理，不僅完全沒有污染，而且氈縮效果大大降低。

油浸牛皮紙電暈處理

目前，化學(xué)相容性或化學(xué)鍵中較強(qiáng)的界面力可以增強(qiáng)兩表面之間的粘附。通常，聚合物的表面能很低或中等，因此很難粘結(jié)或包覆其表面。經(jīng)氧電暈處理后，聚丙烯的表面張力從29dyn/cm提高到72dyn/cm，幾乎達(dá)到零接觸角總吸水所需的值。其他材料的表面會通過活化過程進(jìn)行硝化、氨化和氟化。電暈表面改性可在表面形成胺基、羰基、羥基、羧基等官能團(tuán)，提高界面附著力。

整個過程依靠電暈在電磁場空間中運動，轟擊被處理物體表面，從而達(dá)到表面處理、清洗和蝕刻的效果（清洗過程在某種程度上是輕微的蝕刻過程）；清洗后，將汽化的污垢和清洗氣體排出，空氣送入真空室，恢復(fù)到正常大氣壓。在低壓電暈技術(shù)中，通過提供能量激發(fā)真空中的氣體。它會產(chǎn)生高能離子和電子，以及其他活性粒子，形成電暈。從而極其有效地對表面做出改變。

例如，氧電暈氧化性高，可氧化光刻膠產(chǎn)生氣體，從而達(dá)到清洗效果；腐蝕氣體的電暈具有良好的各向異性，使可以滿足蝕刻的需要。電暈處理會發(fā)出輝光，故稱輝光放電處理。電暈處理的機(jī)理主要取決于&ldquo；激活&rdquo；達(dá)到去除物體表面污漬的目的。

采用低溫電暈技術(shù)可以破壞催化劑原有的晶體結(jié)構(gòu)，產(chǎn)生更多的空穴，從而提高催化劑的活性。低溫電暈改性后的催化劑比表面積增大，微孔數(shù)量增加。由于硫醇的吸附能力取決于微孔，低溫電暈的改性性能使催化劑活性更好，硫醇轉(zhuǎn)化率更高。

油浸牛皮紙進(jìn)行電暈處理

從處理前后ITO膜的化學(xué)成分、晶體結(jié)構(gòu)、透光率和耐阻塞性分析可知，油浸牛皮紙進(jìn)行電暈處理未經(jīng)處理的ITO表層含有與碳相關(guān)的殘留污染物；設(shè)備經(jīng)電暈清洗后，峰值強(qiáng)度明顯下降，說明電暈處理可以有效去除ITO表面層的有機(jī)污染物。電暈清洗設(shè)備不僅降低了ITO表面層的碳濃度，而且提高了ITO表面層的氧濃度。從而改進(jìn)ITO表面層的化學(xué)成分分析，這對提高ITO的功能和設(shè)備性能至關(guān)重要。

還能增加填料的外緣高度和相容性問題，油浸牛皮紙進(jìn)行電暈處理增加集成電路芯片封裝的機(jī)械強(qiáng)度，降低表面間因不同材料的熱膨脹系數(shù)而產(chǎn)生的內(nèi)剪切力，增加產(chǎn)品的安全性和壽命。。半導(dǎo)體電暈的研制與應(yīng)用；電暈輔助清洗技術(shù)是先進(jìn)制造業(yè)中的一種精密清洗技術(shù)，可廣泛應(yīng)用于許多行業(yè)。這里介紹電暈清洗技術(shù)在半導(dǎo)體制造業(yè)中的應(yīng)用?；瘜W(xué)氣相沉積(CVD)和刻蝕在半導(dǎo)體加工中得到了廣泛的應(yīng)用。