盡管筆者稱孔的形貌平滑作為互連沒有任何問題，磷化物的親水性強(qiáng)弱判斷但顯然70℃～80℃的角度很難勝任14nm以下工藝技術(shù)，需要更多的新型技術(shù)和細(xì)致的研究才能更好地完成圖形定義。 除了本身可以作為半導(dǎo)體材料，鎵砷與磷化銦、銦鎵砷配合使用外，鎵砷半導(dǎo)體還可以與鋁鎵砷、鋁鎵砷磷配合使用。這類蝕刻也一般具有大的深寬比特點(diǎn)。

汽車制造行業(yè)的表面處理工作非常繁重，磷化物的親水性強(qiáng)弱判斷現(xiàn)在要求汽車制造商負(fù)責(zé)表面工程，同時(shí)要改成出廠前的積極處理。原材料生產(chǎn)時(shí)。這種變化并不膚淺這是一個(gè)簡(jiǎn)單的管理任務(wù)轉(zhuǎn)移，更重要的是節(jié)能、節(jié)材、環(huán)保措施?？梢院?jiǎn)化脫脂防銹處理，利用軋制后的余熱降低能耗。在一些西歐國(guó)家的鋼廠，對(duì)半成品進(jìn)行表面處理，如熱處理、熱鍍、磷化和鈍化。

在粘結(jié)產(chǎn)品中，磷化物的親水性強(qiáng)弱判斷由于氧化層(如鐵銹層)、鍍鉻層、磷化層、脫模劑形成& LDquo;弱邊界層& RDquo;而膠粘劑的表面處理也會(huì)影響粘結(jié)強(qiáng)度。如:聚乙烯板、厚壁管等。熱鉻酸氧化可以提高聚乙烯表面的結(jié)合強(qiáng)度，在70-80小時(shí)處理1-5分鐘后可獲得較好的結(jié)合表面。聚乙烯薄膜只能在室溫下用鉻酸處理。如果在以上溫度下進(jìn)行，會(huì)損壞產(chǎn)品表面，甚至改變產(chǎn)品內(nèi)部結(jié)構(gòu)，那么就有必要使用等離子清洗機(jī)對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行表面處理。

（2）表面處理行業(yè)：電鍍前的除油除銹；離子鍍前清洗；磷化處理；清除積炭；清除氧化皮；清除拋光膏；金屬工件表面活化處理等。（3）儀器儀表行業(yè)：精密零件的高清潔度裝配前的清洗等。（4）電子行業(yè)：印刷線路板除松香、焊斑；高壓觸點(diǎn)等機(jī)械電子零件的清洗等。（5）醫(yī)療行業(yè)：醫(yī)療器械的清洗、消毒、殺菌、實(shí)驗(yàn)器皿的清洗等。（6）半導(dǎo)體行業(yè)：半導(dǎo)體晶片的高清潔度清洗。（7）鐘表首、飾行業(yè)：清除油泥、灰塵、氧化層、拋光膏等。

磷化物的親水性

反之，當(dāng)膠粘劑對(duì)被粘材料浸潤(rùn)不良時(shí)（θ>90°）,表面的粗糙化就不利于粘接強(qiáng)度的提高。2.等離子表面處理:粘接前的表面處理是粘接成功的關(guān)鍵，其目的是能獲得牢固耐久的接頭。由于被粘材料存在氧化層（如銹蝕）、鍍鉻層、磷化層、脫模劑等形成的“弱邊界層”，被粘物的表面處理將影響粘接強(qiáng)度。

等離子表面處理機(jī)的應(yīng)用行業(yè)如下。 1.機(jī)械行業(yè)：量具的清洗、機(jī)械零件的除油除銹、發(fā)動(dòng)機(jī)、汽化器、汽車零部件的清洗；暢通清洗等。 2、表面處理行業(yè)：電鍍前除油除銹、磷化處理、氧化皮去除、拋光膏去除、金屬工件表面活化處理等。 3、儀器儀表行業(yè)：裝配前等高清潔度精密零件的清洗。 4、電子行業(yè)：印刷電路板等機(jī)械電子元件的清洗、松香去除、焊點(diǎn)、高壓觸點(diǎn)等。 6、表頭及裝飾行業(yè)：去除油泥、灰塵、氧化層、拋光膏等。

用 CH4 和 H2 蝕刻磷酸鹽鋼是一種早期的方法。該方法可用于大面積、大尺寸的磷化銦蝕刻。蝕刻速率相當(dāng)高，但在圖案復(fù)雜密集的區(qū)域，生成的副產(chǎn)物不易揮發(fā)，而且等離子蝕刻墊圈本身的等離子蝕刻氣體聚合物非常重且容易。由于蝕刻停止現(xiàn)象發(fā)生在蝕刻圖案的底部，圖案外觀變差，因此需要進(jìn)一步改進(jìn)CH4和H2的氣體組合，使其成為工業(yè)上適用的磷化銦蝕刻方法。

用氯氣刻蝕InP對(duì)溫度非常敏感，溫度越高，刻蝕速率越快。在低溫下，由于副產(chǎn)物較多且不易揮發(fā)，當(dāng)蝕刻總量過多時(shí)，副產(chǎn)物的富集作用會(huì)導(dǎo)致蝕刻終止(InClx難以揮發(fā))。低溫蝕刻主要是CH4和H2，由于蝕刻速率低，會(huì)出現(xiàn)蝕刻停止現(xiàn)象。因此，如何實(shí)現(xiàn)InP材料的低溫刻蝕已成為一個(gè)熱門的研究熱點(diǎn)。較常用的方法是將常規(guī)磷化銦蝕刻氣體與其他氣體混合。新西蘭的卡洛塔報(bào)道了這一領(lǐng)域的早期工作。

磷化物的親水性強(qiáng)弱比較

在粘結(jié)的產(chǎn)品中，磷化物的親水性由于氧化層（如腐蝕）、鍍鉻層、磷化層、脫模劑等&ldquo；弱邊界層&rdquo；粘接材料的表面處理會(huì)影響粘接強(qiáng)度。如聚乙烯板、厚壁管等，熱鉻酸氧化可提高在聚乙烯表面的結(jié)合強(qiáng)度，70-80小時(shí)處理1-5分鐘可獲得較好的結(jié)合面。聚乙烯薄膜只能在室溫下用鉻酸處理。如果在上述溫度下進(jìn)行，會(huì)損傷產(chǎn)品表面，甚至改變產(chǎn)品內(nèi)部結(jié)構(gòu)，因此需要使用等離子清洗機(jī)對(duì)產(chǎn)品表面進(jìn)行處理。