（2）活潑氣體和不活潑氣體等離子體，劃圈法附著力怎么看根據(jù)產(chǎn)生等離子體時(shí)應(yīng)用的氣體的化學(xué)性質(zhì)不同，可分為不活潑氣體等離子體和活潑氣體等離子體兩類，不活潑氣體如氬氣（Ar）、氮?dú)猓∟2）、氟化氮（NF3）、四氟化碳（CF4）等，活潑氣體如氧氣（O2）、氫氣（H2）等，不同類型的氣體在清洗過(guò)程中的反應(yīng)機(jī)理是不同的，活潑氣體的等離子體具有更強(qiáng)的化學(xué)反應(yīng)活性，這將在后面結(jié)合具體應(yīng)用實(shí)例介紹。。

（2）活性氣體和非活性氣體等離子體，劃圈法附著力怎么看根據(jù)產(chǎn)生等離子體所用氣體的化學(xué)性質(zhì)不同，可分為非活性氣體等離子體和活性氣體等離子體，非活性氣體如氬(Ar)、氮?dú)?N2)、氟化氮(NF3)、四氟化碳(CF4)等，活性氣體如氧氣(O2)、氫氣(H2)等，不同類型氣體在清洗過(guò)程中的反應(yīng)機(jī)理不同，活性氣體的等離子體化學(xué)反應(yīng)活性更強(qiáng)，后面將結(jié)合具體應(yīng)用實(shí)例介紹。。

（2）活潑氣體和不活潑氣體等離子體，劃圈法附著力怎么看根據(jù)產(chǎn)生等離子體時(shí)應(yīng)用的氣體的化學(xué)性質(zhì)不同，可分為不活潑氣體等離子體和活潑氣體等離子體兩類，不活潑氣體如氬氣（Ar）、氮?dú)猓∟2）、氟化氮（NF3）、四氟化碳（CF4）等，活潑氣體如氧氣（O2）、氫氣（H2）等，不同類型的氣體在清洗過(guò)程中的反應(yīng)機(jī)理是不同的，活潑氣體的等離子體具有更強(qiáng)的化學(xué)反應(yīng)活性，這將在后面結(jié)合具體應(yīng)用實(shí)例介紹。

給氣體施加足夠的能量使其游離成等離子體狀態(tài)。等離子體的活性組分包括:離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子體表面處理裝置是利用這些活性組分的性質(zhì)對(duì)樣品表面進(jìn)行處理，劃圈法附著力評(píng)級(jí)實(shí)例從而達(dá)到清洗、改性、光刻膠灰等目的。

劃圈法附著力評(píng)級(jí)實(shí)例

高溫等離子體如太陽(yáng)、受控?zé)岷司圩兊入x子體。低溫等離子體分為高溫等離子體和低溫等離子體，高溫等離子體如電弧、高頻和燃燒等離子體，低溫等離子體如低壓輝光放電等離子體、電暈放電等離子體和介質(zhì)阻擋放電等離子體。低溫等離子加工設(shè)備可分為低壓低溫等離子（輝光放電、微波放電等離子等）和常溫低溫等離子（電暈放電、DBD等離子等）。根據(jù)頻率不同，可分為直流放電、高頻放電、微波放電等離子。

離子體清洗機(jī)可對(duì)材料表面進(jìn)行表面清洗、表面活化、表面刻蝕： 清洗功能：等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)，并不屬于常見(jiàn)的固液氣三態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。

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電池電堆膜電極伺服熱壓機(jī)應(yīng)用： 燃料電池電堆膜電極伺服熱壓機(jī)采用電腦程序控制，可實(shí)現(xiàn)人機(jī)對(duì)話，對(duì)熱壓過(guò)程進(jìn)行溫度和壓力的精確控制和監(jiān)控，用戶可根據(jù)自身需要設(shè)置多段壓力控制，持壓壓力、持壓時(shí)間，加熱溫度，冷卻間隔時(shí)間均可自由設(shè)置，也可以做多程段式實(shí)驗(yàn)。PLC+觸摸屏為核心操作系統(tǒng)，操作簡(jiǎn)單方便配置安全防護(hù)罩及安全門裝置，有效保證操作安全，杜絕意外發(fā)生。

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