2. 聚合物清洗① 聚合物的表面清洗等離子消融作用通過(guò)高能的電子和離子對(duì)材料表面的轟擊，提高玻璃瓶表面涂層附著力機(jī)械地去除污物層。等離子表面清洗可去除可能存在于某些加工過(guò)的聚合物的污物層，不需要的聚合物表面涂層和弱的邊界層② 聚合物的表面重組等離子消融作用中使用的惰性氣體破壞了聚合物表面的化學(xué)鍵從而導(dǎo)致聚合物表面自由官能團(tuán)的形成。

在醫(yī)療材料和醫(yī)療器械領(lǐng)域，提高玻璃瓶表面涂層附著力很多產(chǎn)品已經(jīng)采用等離子表面處理工藝，例如心臟瓣膜和心血管支架的表面涂層預(yù)處理、人工耳蝸粘連、隱形眼鏡清洗和功能涂層等。 離子表面處理包括針頭在接合前的表面清潔、蝕刻、涂層、聚合和去除（化學(xué)），以及醫(yī)用無(wú)紡布的功能涂層。處理過(guò)程干燥，無(wú)新雜質(zhì)引入，安全有效。

7. 等離子涂層和聚合 在涂層過(guò)程中，提高玻璃瓶表面涂層附著力兩種氣體一起進(jìn)入反應(yīng)室，氣體在等離子環(huán)境中會(huì)聚。這種使用比激活和清潔要求更嚴(yán)格。典型應(yīng)用是形成用于燃料容器的保護(hù)層、耐刮擦表面、PTFE 等材料的涂層、防水涂層等。涂層很薄，通常只有幾微米，此時(shí)表面親和力非常好。。等離子清洗劑可以改變氮化硅層的形態(tài)-等離子清洗劑/表面處理等離子清洗劑可以提供表面清潔、表面活化、表面蝕刻和表面涂層功能。洗衣機(jī)可實(shí)現(xiàn)多種處理效果。

一種等離子體清洗機(jī)的干蝕刻系統(tǒng)，提高玻璃瓶表面涂層附著力包括:用于容納等離子體的腔體，腔體上方的石英盤，石英盤上的多個(gè)磁體，驅(qū)動(dòng)多個(gè)磁體旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其中多個(gè)磁體產(chǎn)生隨該磁體旋轉(zhuǎn)的磁場(chǎng)。進(jìn)一步提高粒子碰撞頻率可以獲得更好的等離子體均勻性和等離子體濃度。。

面涂層附著力評(píng)級(jí)

這會(huì)導(dǎo)致鍵合線的抗拉強(qiáng)度不同，但有利于提高器件的可靠性。在芯片封裝中，大氣壓等離子清潔器中的等離子在接合前清潔晶圓和載體，以提高表面活性。這可以有效地防止或減少空隙并提高粘合性能。此外，增加了填充邊緣的高度，提高了IC封裝的機(jī)械強(qiáng)度，降低了界面間因熱膨脹系數(shù)不同而產(chǎn)生的剪切應(yīng)力。這提高了產(chǎn)品的可靠性和使用壽命。。

可以看出，電感耦合蝕刻等離子體清洗裝置的蝕刻均勻性和側(cè)壁形狀的可控性遠(yuǎn)優(yōu)于電容耦合裝置。這是因?yàn)槠脗?cè)壁寬度均勻性和側(cè)壁側(cè)壁形狀控制好，所以晶體管均勻性好。環(huán)形振蕩器導(dǎo)致的產(chǎn)量降低清楚地證明了這一點(diǎn)。等離子清洗設(shè)備的電感耦合刻蝕大大減少了由于環(huán)形振蕩器導(dǎo)致的良率下降，大大提高了良率。

高頻感應(yīng)等離子體發(fā)生器；又稱高頻等離子炬，或射頻等離子炬。它利用無(wú)電極的電感耦合，將高頻電源的能量輸入到連續(xù)氣流中進(jìn)行高頻放電。高頻等離子體發(fā)生器及其應(yīng)用過(guò)程具有以下新特點(diǎn)：（1）只有線圈，沒有電極，不存在電極損耗問(wèn)題。該發(fā)生器能產(chǎn)生極其純凈的等離子體，其持續(xù)使用壽命取決于高頻電源的電真空裝置壽命，一般較長(zhǎng)，約2000～3000小時(shí)。

自由基的作用主要表現(xiàn)在化學(xué)反應(yīng)過(guò)程中的能量傳遞的“活化”作用，處于激發(fā)狀態(tài)的自由基具有較高的能量，因此易于與物體表面分子結(jié)合時(shí)會(huì)形成新的自由基，新形成的自由基同樣處于不穩(wěn)定的高能量狀態(tài)，很可能發(fā)生分解反應(yīng)，在變成較小分子的同時(shí)生成新的自由基，這種反應(yīng)過(guò)程還可能繼續(xù)進(jìn)行下去，最后分解成水，二氧化碳之類的簡(jiǎn)單分子，在另一些情況下，自由基與物體表面分子結(jié)合的同時(shí)，回釋放出大量的結(jié)合能，這種能量又成為引發(fā)新的表面反應(yīng)的推動(dòng)力，從而引發(fā)物體表面上的物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而被去除。

提高玻璃瓶表面涂層附著力

等離子清洗的工作原理是通過(guò)將注入氣體激發(fā)成等離子體，面涂層附著力評(píng)級(jí)等離子體由電子、離子、自由基、光子以及其他中性粒子組成。由于等離子體中的電子、離子和自由基等活性粒子存在，其本身容易與固體表面發(fā)生反應(yīng)。反應(yīng)類型可以分為物理反應(yīng)和化學(xué)反應(yīng)，物理反應(yīng)主要是以轟擊的形式使污染物脫離表面，從而被氣體帶走；化學(xué)反應(yīng)是活性粒子與污染物發(fā)生反應(yīng)，生成易揮發(fā)物質(zhì)再被帶走。

LED封裝過(guò)程中，面涂層附著力評(píng)級(jí)基板、支架等器件表面存在有機(jī)污染物、氧化層等污染物，影響整個(gè)封裝過(guò)程的良率，對(duì)產(chǎn)品造成不可逆轉(zhuǎn)的損害，我什至可能給.案子。為了保證整個(gè)工藝和產(chǎn)品的質(zhì)量，上述問(wèn)題通常通過(guò)在銀膠、引線鍵合、LED封膠三道工序之前引入等離子表面處理的等離子清洗裝置來(lái)解決，將徹底解決。