4. 由于等離子體清洗過程需要進(jìn)行真空處理，等離子化學(xué)氣相沉積設(shè)備而且一般為在線或批量生產(chǎn)，因此在把等離子體清洗裝置引進(jìn)生產(chǎn)線時(shí)，必須考慮到被清洗工件的貯存和移送的問題，特別是當(dāng)被處理工件體積較大，數(shù)量較多更應(yīng)考慮到這個(gè)問題。綜上所訴可知：等離子體清洗技術(shù)適用于對(duì)物體表面的油，水及微粒等輕度油污進(jìn)行清洗，而且利于“速戰(zhàn)速?zèng)Q”的在線或批量清洗。。

射頻等離子體清洗后，等離子化學(xué)氣相沉積設(shè)備芯片與基板的將與膠體的結(jié)合更加緊密，形成的泡沫將大大減少，同時(shí)也將顯著提高散熱率和光發(fā)射率。⒉plasma等離子火焰處理機(jī)在橡塑行業(yè)產(chǎn)品上的作用機(jī)理我捫們?cè)诠I(yè)應(yīng)用中發(fā)現(xiàn)一些橡膠塑料件在進(jìn)行表面連接的時(shí)候會(huì)出現(xiàn)粘接困難的問題，這是因?yàn)榫郾TFE等橡膠塑料材料是沒有極性的，這些材料在未經(jīng)過表面處理的狀態(tài)下進(jìn)行的印刷、粘合、涂覆等效果非常差，甚至無法進(jìn)行。

電漿清洗機(jī)外接離心泵，等離子化學(xué)氣相沉積設(shè)備運(yùn)作時(shí)潔凈腔內(nèi)的電漿猛地沖洗被潔凈物表面上，短時(shí)間的潔凈可使有(機(jī))污染物（完）全潔凈干凈，同時(shí)電漿被離心泵抽走，其潔凈程度達(dá)到分子級(jí)。plasma清潔儀不僅要兼有超潔凈功效外，還可以根據(jù)需要改變材料表面上的性能，等離子體作用于材料表面上，重組表面上分子的化學(xué)鍵，形成新的表面上特性。。

等離子體的“活性”成分包括離子、電子、反應(yīng)基團(tuán)、激發(fā)核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子表面處理設(shè)備利用這些活性成分的特性對(duì)樣品表面進(jìn)行處理，等離子化學(xué)氣相沉積設(shè)備示意圖達(dá)到清洗、改性、光刻膠灰化等目的。

等離子化學(xué)氣相沉積設(shè)備示意圖

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等離子化學(xué)氣相沉積設(shè)備

等離子清洗設(shè)備適用于燃料容器、防刮表層，等離子化學(xué)氣相沉積設(shè)備類似于聚四氟乙烯（PTFE）材料的涂層、防水涂層等。等離子清洗設(shè)備的表層涂層功效不僅保護(hù)了材料，而且在材料表層形成了1層新的材料，改進(jìn)了后粘結(jié)和印刷工藝。。電漿清洗機(jī)應(yīng)用下對(duì)負(fù)載型鑭系氧化物催化劑CO2氧化CH4制C2： 負(fù)載型鑭系氧化物催化劑具有良好的OCM反應(yīng)活性。

工件外表的污染物，等離子化學(xué)氣相沉積設(shè)備如油脂、助焊劑、感光膜、脫模劑、沖床油等，很快就會(huì)被氧化成二氧化碳和水，而被真空泵抽走，然后抵達(dá)清潔外表，改善浸潤(rùn)性和粘結(jié)性的意圖。低溫等離子處理僅觸及資料的外表，不會(huì)對(duì)資料主體的性質(zhì)產(chǎn)生影響。因?yàn)榈入x子體清洗是在高真空下進(jìn)行的，所以等離子體中的各種活性離子的清閑程很長(zhǎng)，他們的穿透和浸透力很強(qiáng)，能夠進(jìn)行凌亂結(jié)構(gòu)的處理，包括細(xì)管和盲孔。