等離子體有別于固體、液體、氣體三態(tài)物質(zhì), 是宇宙中最廣泛存在的物質(zhì)狀態(tài), 稱為物質(zhì)的第四態(tài)。 等離子體含有各類(lèi)活性粒子, 如離子、電子、自由基、激發(fā)分子、紫外光等。

這些高能電子與甲烷分子發(fā)生非彈性碰撞，電子產(chǎn)品噴漆附著力標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)而生成大量的活性物種及活性自由基，自由基再進(jìn)一步碰撞結(jié)合生成 新的物質(zhì)。

　　在進(jìn)行等離子刻蝕操作時(shí)，電子產(chǎn)品噴漆附著力標(biāo)準(zhǔn)其射頻電源所產(chǎn)生的熱運(yùn)動(dòng)會(huì)使質(zhì)量小、運(yùn)動(dòng)速度快的帶負(fù)電自由電子很快抵達(dá)陰極，而正離子則是由于質(zhì)量大、速度慢而很難在同一時(shí)刻到達(dá)陰極，然后就會(huì)在陰極附近構(gòu)成帶負(fù)電的鞘層，正離子在這個(gè)鞘層的加快之下，就會(huì)筆直的轟擊在硅片的表面，然后使得表面的化學(xué)反應(yīng)加快，而且會(huì)使得反應(yīng)生成物脫離，因而其刻蝕速度極快，離子的轟擊也會(huì)使各向異性刻蝕得以實(shí)現(xiàn)。

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噴漆附著力強(qiáng)還是噴粉

離子在宇宙的其他地方很豐富，但僅限于地球上的某些環(huán)境中。自然產(chǎn)生的離子包括閃電和極光。正如將固體變成氣體需要能量一樣，產(chǎn)生離子也需要能量。隨著溫度的升高，物質(zhì)從固態(tài)變?yōu)橐簯B(tài)，液態(tài)變?yōu)闅鈶B(tài)。當(dāng)氣體溫度升高時(shí)，氣體分子被分離成原子。隨著溫度繼續(xù)升高，原子核周?chē)碾娮优c原子分離，形成離子（正電荷）和電子（負(fù)電荷）。這種現(xiàn)象稱為“電離”。通過(guò)電離而帶有離子的氣體稱為“等離子體”。

（1）化學(xué)反應(yīng)化學(xué)反應(yīng)中常用的氣體有氫氣(H2)、氧氣(02)、甲烷(CF4)等，這些氣體在等離子體中反應(yīng)成高活性自由基，方程是這些自由基會(huì)進(jìn)一步與材料表面發(fā)生反應(yīng)。其反應(yīng)機(jī)理主要是利用等離子體中的自由基與材料表面反應(yīng)。壓力較高時(shí)，有利于自由基的產(chǎn)生。因此，如果化學(xué)反應(yīng)是主要反應(yīng)，就需要控制較高的壓力來(lái)反應(yīng)。

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