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聚合物具有分子設(shè)計(jì)性，等離子體刻蝕各向異性通過等離子體表面相互作用可以在表面引入不同基團(tuán)來改善其性能，如親水性、疏水性、潤濕性、粘附性;引入生物活性分子或酶來改善其生物相容性。等離子體設(shè)備清洗技術(shù)對高分子材料進(jìn)行表面改性，不僅提高了高分子材料在特定環(huán)境中的適用性能，而且拓寬了常規(guī)高分子材料的適用范圍。

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等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積原理

這些官能團(tuán)通過電暈等離子體處理可在纖維和聚合物表面產(chǎn)生羥基(-OH)、醛基(-CHO)和羧基(-COOH)，這些官能團(tuán)對織物的吸濕性有良好的接枝作用。等離子體具有獨(dú)特的物理化學(xué)性質(zhì)和溫度范圍特點(diǎn)。從而成為材料表面處理的有效工具。低溫等離子體處理可以提高亞麻織物的染色效率、染色率和出色率。等離子體處理的效果反映了大麻纖維的表面腐蝕和氧化。對于色牢度低的纖維制品，可采用低溫等離子體染色。通?？梢缘玫綕M意的著色。

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加入蝕刻過程可以快速生成聚合物提供壁保護(hù)氣體如CHF3、N2或CH4，使金屬鋁壁上的氟、氮或碳?xì)浠衔锵鄬?yōu)先吸附，進(jìn)一步減少氯原子與鋁壁的反應(yīng)接觸，保護(hù)壁，使氯氣對金屬基鋁的各向異性腐蝕能力更好。用等離子工業(yè)清洗機(jī)研究了三種不同氣體對鋁蝕刻后側(cè)壁形態(tài)的影響。結(jié)果表明:腐蝕過程中N2保護(hù)氣體產(chǎn)生過多的側(cè)壁保護(hù)，容易形成梯形側(cè)壁形貌;CHF3的側(cè)壁保護(hù)并不完美。

氬氣本身是惰性氣體，等離子體氬氣不會與表面發(fā)生反應(yīng)，最常用的工藝是氬氣等離子體通過物理濺射使表面清潔。等離子體物理清洗不會產(chǎn)生氧化副作用，保持清洗材料的化學(xué)純度，腐蝕各向異性，缺點(diǎn)是對表面產(chǎn)生很大的損傷和熱效應(yīng)，選擇性差，速度慢。化學(xué)清洗和物理清洗各有優(yōu)缺點(diǎn)。在反應(yīng)性離子腐蝕中，物理反應(yīng)和化學(xué)反應(yīng)這兩種機(jī)制的結(jié)合同時(shí)起著重要的作用，相互促進(jìn)，且效果具有更好的選擇性、清潔率、均勻性和更好的方向性。

等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積原理

通過這種方式,應(yīng)用于等離子體表面處理后的表面材料,材料的原始表面化學(xué)鍵可以毀滅,以創(chuàng)建一個(gè)新的反應(yīng)氛圍,從而形成交聯(lián)網(wǎng)絡(luò)的結(jié)構(gòu)與這些債券在等離子體,并極大地刺激(激活)表面特異性。第二，等離子體刻蝕各向異性等離子體表面處理可以形成新的功能群在等離子體表面處理中，混合氣體的反應(yīng)會在放電混合物中建立，使被活化的原料表面會發(fā)生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)。

等離子清洗原理什么是等離子?等離子體是一種存在狀態(tài)的物質(zhì)，等離子體刻蝕各向異性通常物質(zhì)以固體、液體、氣體三種狀態(tài)存在，但在某些特殊情況下可以以第四種狀態(tài)存在，如太陽表面的物質(zhì)和地球大氣中的電離層。這種物質(zhì)的狀態(tài)被稱為等離子體狀態(tài)，也被稱為物質(zhì)的第四態(tài)。等離子體主要由氣體放電產(chǎn)生，含有電子、離子、自由基、紫外線等高能物質(zhì)，具有活化物質(zhì)表面的作用。