1、中頻電源、射頻電源和微波電源的區(qū)別 等離子清洗機(jī)的電源可以按頻率分為中頻電源、射頻電源和微波電源,在等離子處理中各自具有獨(dú)特的特點(diǎn)和應(yīng)用領(lǐng)域。1、中頻等離子清洗機(jī):由于中頻電源直接輸出到電極板的電壓較高,其自偏壓也較高,產(chǎn)生的負(fù)自偏壓就會引起正離子的功率吸收,從而直接引起電極板的溫度升高。同時由于在這個過程中離子會吸收部分的功率,因此...
2、微波等離子清洗原理以及在微電子芯片封裝工藝中的應(yīng)用 微電子封裝過程中產(chǎn)生的沾污嚴(yán)重影響了電子元器件的可靠性和使用壽命。微波等離子清洗能有效增強(qiáng)基板的浸潤性,降低芯片和基板共晶焊界面的孔隙率,同時也能清除元件表面的氧化物薄膜和有機(jī)物沾污,經(jīng)過等離子清洗,其鍵合焊接強(qiáng)度和合金熔封密封性都得到提高。...
3、銅附著力(微波印制電路板孔銅附著力)孔銅附著力 不同等離子體產(chǎn)生的自偏壓不一樣,微波印制電路板孔銅附著力超聲等離子體的自偏壓為 0V左右,射頻等離子體的自偏壓為250V左右,微波等離子體的自偏壓很低,只有幾十伏,而且三種等離子體的機(jī)制不同。 超聲等離子體發(fā)生的反應(yīng)為物理反應(yīng),射頻等離子體發(fā)生的反應(yīng)既有物理反應(yīng)又有化學(xué)反應(yīng),微波等離子體發(fā)生的反應(yīng)為...