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深圳市金徠技術(shù)有限公司

ShenZhen City JinLai Technology Co.,Ltd.

氟材料清洗

在液晶顯示器組裝中,氟材料清潔機(jī)器很多工藝都需要等離子加工技術(shù),如玻璃基板蒸發(fā)和濺射形成ITO膜,造成玻璃表面的臟清洗困難,缺乏清洗效果,而等離子清洗可以有效去除油、污垢等污染物,達(dá)到超凈清洗的目的。ITO玻璃涂有光刻膠前的等離子體處理可以有效地提高表面潤濕性,去除污染物,減少氣泡產(chǎn)物,去除圖形轉(zhuǎn)移后殘留的化學(xué)劑。液晶模組粘接過程中去除有機(jī)污染物如膠水溢出、偏光片、防指紋膜等粘接物表面的清潔和活化。

氟材料清潔

經(jīng)Ar/O2等離子體處理后,氟材料清潔可在含有-COOH的HDPE表面引入含氧官能團(tuán)。在玻璃被清潔并被氬等離子激活后,表面含有-OH,APS的結(jié)構(gòu)式為NH2C3H6Si(OC2H5)3,其中-OC2H5基團(tuán)容易水解形成低聚物。這些低聚物可以與玻璃表面的-OH反應(yīng)形成氫鍵,在干燥過程中脫水,形成共價鍵與玻璃表面連接。暴露在玻璃表面的-NH2可以與HDPE膜表面的-COOH發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成銨鹽,在一定條件下生成酰胺。

射頻驅(qū)動低壓等離子體清洗的技能是一個有用的和低成本的方式清潔,可以刪除基材的外觀可能有有用的污染物,如氟化物,氫氧化鎳,有機(jī)溶劑殘留,環(huán)氧樹脂含量的溢出,氧化層的數(shù)據(jù),等離子清洗和成鍵,顯著提高了焊合強(qiáng)度和焊合線張力均勻性,氟材料清潔機(jī)器大大提高了引線的焊合強(qiáng)度。采用氣體等離子體技術(shù)可以在鉛結(jié)合前對芯片接觸點(diǎn)進(jìn)行清洗,提高了結(jié)合強(qiáng)度和屈服率。表3顯示了一個改進(jìn)的抗拉強(qiáng)度比較的例子。

蝕刻是確定器件尺寸、厚度、外觀的關(guān)鍵技術(shù),氟材料清潔機(jī)器參數(shù)失效對參數(shù)的影響非常大,如由于機(jī)器維護(hù)不充分而提示柵格尺寸偏差大,容易產(chǎn)生成品率損失,功能失效往往是晶圓片的缺陷造成的,缺陷包括晶圓上的物理異物、化學(xué)污染、圖形、缺陷和晶格缺陷等。等離子體刻蝕作為半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵工藝,對功能失效也有很大的影響。例如,粒子從反應(yīng)室落在晶圓表面導(dǎo)致蝕刻阻塞,蝕刻時間不夠?qū)е峦缀偷讓咏饘贁嚅_。

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