當(dāng)涂層材料被注入氣體羽流中時(shí),老式電暈處理機(jī)實(shí)物接線圖材料被熔化并射向目標(biāo)基底。使用的工藝氣體和施加在電極上的電流共同控制工藝產(chǎn)生的能量。由于每種氣體和所用電流的精確調(diào)整,涂層結(jié)果可以重復(fù)和預(yù)測。同時(shí),還可以控制材料被注入羽流的位置和角度,以及噴槍到靶材的距離,從而高靈活性地生成合適的材料噴涂參數(shù),擴(kuò)大熔化溫度范圍。
此外,電暈處理技術(shù)視頻等離子體還可以改善晶圓微粗糙度鈍化層之間的附著力。在UBM中,BCB與UBM等離子體處理之間的粘附改變了晶片鈍化層的形貌和潤濕效果。聚合物材料,如苯并環(huán)丁烯(BCB)和UBM,在晶片的介電層中重新分布。等離子體處理改變了硅片初始鈍化層的形貌,增強(qiáng)了潤濕性。形成具有介電圖案的再分布層的典型方法包括使用典型的光刻方法對(duì)介電再分布材料進(jìn)行圖案化。
隨著等離子體功率的增加,老式電暈處理機(jī)實(shí)物接線圖體系中高能電子的密度和平均能量增加,高能電子與C2H6分子發(fā)生彈性和非彈性碰撞的概率以及轉(zhuǎn)移的能量增加,C2H6的C-H鍵和C-C鍵斷裂的可能性增加,斷裂形成的自由基濃度也增加,自由基通過復(fù)合形成產(chǎn)物的概率增加。因此,C2H6轉(zhuǎn)化率和C2H2產(chǎn)率隨等離子體功率的增加而增加。
等離子體中粒子的能量通常在幾到十電子伏特左右,電暈處理技術(shù)視頻比高分子材料的成鍵能(幾到十電子伏特)還要大。它能完全打破有機(jī)大分子的化學(xué)鍵,形成新的鍵,但遠(yuǎn)低于高能放射線,只涉及材料表面,不影響基體的性能;等離子體表面處理設(shè)備技術(shù)在塑料和橡膠(陶瓷、玻璃)行業(yè)的應(yīng)用:聚丙烯、PTFE等橡塑材料是非極性的,這些材料沒有等離子體表面處理設(shè)備的印刷、粘接、涂布效果很差,甚至無法進(jìn)行。
老式電暈處理機(jī)實(shí)物接線圖
稍有不慎,可能導(dǎo)致基材變形,甚至燒壞產(chǎn)品,還存在消防、環(huán)保隱患。塑料是以具有大分子的固體為基礎(chǔ)的,這些固體要么通過合成方法生產(chǎn),要么經(jīng)過改性的天然產(chǎn)物。可分為熱塑性材料(可熔融性和可澆注性及可模塑性)和熱固性材料(僅在單體狀態(tài)下可澆注性,可通過聚合固化),之后將不再是可熔融性。塑料在純狀態(tài)下具有良好的耐熱性和電絕緣體。其比重在0.9g/cm3至1.5g/cm3之間(發(fā)泡狀態(tài)除外)。通常,它是易燃的。
老式電暈處理機(jī)實(shí)物接線圖