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外延片等離子體清洗設(shè)備

等離子體作為物質(zhì)的第四種狀態(tài)，具有簡單、高效、環(huán)保的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于各種材料中。污垢表面的殘留物，特別是經(jīng)過機(jī)械和濕化學(xué)清洗后，通常是有機(jī)物。許多溶劑不能完全去除油脂、脫模劑、硅酮。如果這些物質(zhì)留在表面，它們會干擾所有后續(xù)的加工步驟，特別是粘合和涂層。這些物質(zhì)大部分可以通過氧等離子體去除，也可以通過空氣等離子體去除。低溫氧等離子體處理不僅可以提高表面親水性，還可以提高表面電導(dǎo)率和材料附著力。

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該報(bào)告強(qiáng)調(diào)等離子體的非冷凝系統(tǒng)性質(zhì)，不包括純固態(tài)和液態(tài)。因此，等離子體是宏觀層面上電中性的電離氣體，是由電子、離子、自由基和各種活性基團(tuán)組成的粒子集合。其中正電荷總數(shù)和負(fù)電荷總數(shù)在數(shù)值上相等，所以稱為等離子體。等離子體的定義不僅強(qiáng)調(diào)了等離子體在微觀層面上的電離特性，而且強(qiáng)調(diào)了等離子體在宏觀層面上的電中性。作為具有一定電離度的氣體等離子體，它與普通氣體的主要區(qū)別在于其組成和性質(zhì)。

低溫等離子體廢氣處理設(shè)備是使用電子,各種離子、原子和自由基等活性等離子體和排氣污染物的影響,有效的凈化,沒有添加任何材料,適應(yīng)性強(qiáng)的特點(diǎn),低能耗,節(jié)能,安全可靠,廢料分子在很短的時間內(nèi)攻擊，與攻擊的后續(xù)反應(yīng)意圖與廢氣分化。低溫等離子體是材料繼固體、液體和氣體之后的第四種狀態(tài)。當(dāng)施加的電壓達(dá)到氣體的點(diǎn)火電壓時，氣體被擊穿，混合物包括電子、各種離子、原子和自由基。

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