為降低光伏發(fā)電制造成本，氟材料刻蝕促進(jìn)太陽能產(chǎn)品和技術(shù)的普及，發(fā)展綠色環(huán)保做出突出貢獻(xiàn)。目前，中國國內(nèi)背板行業(yè)市場占有率達(dá)80%。目前，太陽能底板主要包括涂覆底板、氟樹脂和涂覆在基材聚甲基乙酸乙酯丙烯腈PE膜外表面的復(fù)合底板。氟材料具有優(yōu)良的功能，耐熱、耐水、耐腐蝕，但又具有較高的排油功能，不利于與太陽能包裝膜EVA粘合。

因此，氟材料刻蝕在封裝時(shí)，一般的解決方案是利用大氣等離子體設(shè)備表面潤濕性來增強(qiáng)氟材料與乙烯-醋酸乙烯共聚物(EVA)的粘附強(qiáng)度，從而為太陽能電池提供穩(wěn)定有效的保護(hù)。采用壓力等離子設(shè)備處理的氟涂層可增加外表面，降低接觸角，增加與EVA的剝離力，從而增強(qiáng)與EVA的附著力。低溫等離子體加工能力和加工時(shí)間的提高有利于提高低溫等離子體的外表面功能。

對(duì)于CdTe薄膜太陽能電池，氟材料刻蝕其原材料中的“鎘”已被證明是致癌物，因此與太陽能電池的綠色能源特性略有沖突。此外，其原材料中的“碲”也相對(duì)昂貴。因此硅基薄膜電池更適合大規(guī)模生產(chǎn)。太陽能電池板有兩種類型:一種:涂覆式背板，采用在基材聚酯膜表面涂覆氟樹脂;二種:涂覆復(fù)合背板，采用在基材聚酯膜表面復(fù)合一層氟膜。氟材料具有優(yōu)越的功能，耐熱耐水、耐腐蝕，但又具有較高的拒水拒油功能，不利于與太陽封裝膜EVA粘結(jié)。

目前主要有兩種類型的太陽能底板:一是涂布型底板，氟材料刻蝕設(shè)備在基材聚酯膜表面涂覆氟樹脂;二是涂布復(fù)合型底板，在基材聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)膜表面涂覆一層氟薄膜。氟材料具有優(yōu)異的性能，耐熱、耐水、耐腐蝕，但又具有較高的拒水、拒油性能，不利于與太陽封裝膜EVA粘結(jié)。

氟材料刻蝕設(shè)備

所以包裝前通常的解決辦法是采用低溫等離子體處理低溫等離子體清洗機(jī)可以有效改善含氟材料的親水性表面，提高含氟材料與太陽包裝膜乙烯-醋酸乙烯共聚物(EVA)的結(jié)合性能，為太陽能電池提供穩(wěn)定有效的保護(hù)。低溫等離子清洗機(jī)處理后的含氟涂層表面能增加，接觸角降低，EVA剝離力增大，從而改善涂層與EVA的結(jié)合性能。隨著低溫等離子體處理功率和時(shí)間的增加，表面性能得到改善。

濕法和干法蝕刻的優(yōu)缺點(diǎn)比較:濕法清洗系統(tǒng)適用于高級(jí)無損無損的清洗，可用于制作有或沒有圖案的易損壞基板，包括帶保護(hù)膜的模板。為了在不損傷基體的情況下達(dá)到最佳的清洗效果，樣品上任何位置的兆字節(jié)能量密度必須保持略低于損傷閾值。濕法刻蝕技術(shù)使聲能在基板表面均勻分布，增加分布能以支持理想的清洗，并確保試樣損傷閾值在范圍內(nèi)。該系統(tǒng)具有重復(fù)性高，均勻性好，先進(jìn)的Z兆強(qiáng)清洗功能，兆強(qiáng)輔助光刻膠剝離和濕法刻蝕功能。

等離子體清洗/蝕刻機(jī)產(chǎn)生等離子體設(shè)備設(shè)置在密閉容器中,兩個(gè)電極形成電場與真空泵達(dá)到一定程度的真空,天然氣越來越薄,分子之間的距離和自由流動(dòng)的分子或離子之間的距離也越來越長,在電場的作用下，它們相互碰撞形成等離子體，這些離子的活性非常高，其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵，在任何暴露的表面上引起化學(xué)反應(yīng)，不同的氣體等離子體有不同的化學(xué)性質(zhì)，如氧等離子體具有高氧化性，可氧化光刻膠反應(yīng)生成氣體，從而達(dá)到清洗的效果;腐蝕性氣體的等離子體具有良好的各向異性，因此可以滿足刻蝕的需要。

目前，單晶硅蝕刻主要有兩種方法:一種是濕法，濕法蝕刻由于其一定的局限性，如大量使用有毒化學(xué)品，操作不安全，橫向滲漏，以及浸泡膨脹的結(jié)果導(dǎo)致附著力差，咬邊分辨率下降，已逐漸被干法蝕刻所取代。蝕刻硅的第二種方法是等離子體等離子體干蝕刻。傳統(tǒng)的等離子體刻蝕技術(shù)主要是在低壓真空室中進(jìn)行的。經(jīng)過多年的探索和改進(jìn)，這項(xiàng)技術(shù)已日趨完善。

氟材料刻蝕機(jī)器

供應(yīng)商嚴(yán)格遵守現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)和技術(shù)規(guī)范，氟材料刻蝕設(shè)備確保產(chǎn)品性能和質(zhì)量。機(jī)器保修一年。在質(zhì)保期內(nèi)，設(shè)備發(fā)生故障(非人為損壞)，乙方應(yīng)安排售后人員跟蹤處理，直至故障排除。保修期后(不包括非工作時(shí)間和工作日)，供方免費(fèi)提供技術(shù)咨詢和檢驗(yàn)費(fèi)，只收取相關(guān)成本費(fèi)用。。

金屬材料經(jīng)過低溫等離子表面處理機(jī)處理后，氟材料刻蝕設(shè)備材料表面結(jié)合力可達(dá)80 dynes以上，可滿足各種粘接、噴涂、印刷等工藝，達(dá)到去除靜電的效果。。低溫等離子發(fā)生器在工業(yè)上常被稱為等離子表面處理設(shè)備，是一種新型的新技術(shù)機(jī)器，借助等離子發(fā)揮傳統(tǒng)清洗手段所不能發(fā)揮的效果。