.并且應(yīng)用范圍更廣。研究表明，等離子體技術(shù)處理揮發(fā)性有機(jī)物的局限銅種子層的理想沉積溫度低于150°C，以形成幾納米厚的均勻連續(xù)的銅膜0-1。除了用還原性更強(qiáng)的二乙基鋅和三甲基鋁代替氫與銅前驅(qū)體反應(yīng)，實(shí)現(xiàn)銅膜的低溫沉積（這種反應(yīng)體系可以降低沉積溫度）?？梢?，但鋅和鋁）更常用的方法（領(lǐng)先銅膜性能差）該方法是引入基于熱ALD的等離子體技術(shù)來降低沉積溫度。

7.人工晶狀體疏水聚丙烯酸酯人工晶狀體具有優(yōu)異的屈光度和柔韌性，等離子體技術(shù)處理揮發(fā)性有機(jī)物的局限表面粘度高，對(duì)后囊的附著力更強(qiáng)，有效抑制晶狀體上皮細(xì)胞的遷移和增殖，是一種減少后囊發(fā)育的新型軟質(zhì)材料.不透明度。但由于聚丙烯酸酯具有高度疏水性，容易吸附細(xì)胞和細(xì)菌，使術(shù)后炎癥反應(yīng)加重。使用冷等離子體技術(shù)改性表面可增加聚丙烯酸酯的表面能并改善其潤(rùn)濕性。

等離子處理后的印刷提高了油墨的附著力，等離子體技術(shù)處理揮發(fā)性有機(jī)物的局限提高了耐老化性、耐環(huán)境性、耐久性，實(shí)現(xiàn)了優(yōu)異的印刷效果（果），實(shí)現(xiàn)了印刷油墨的完美應(yīng)用。 與電暈技術(shù)相比，大氣壓等離子體技術(shù)的處理效果均勻、無電位、熱敏感（感）材料表面層。 2.提高噴丸產(chǎn)品的粘合強(qiáng)度。在雙組分注塑和擠出成型過程中，表面活性劑可以使用等離子加工技術(shù)將兩種不相容的材料粘合在一起。

DBD等離子體和催化劑聯(lián)合作用的CH4和CO2重整反應(yīng) DBD等離子體和催化劑聯(lián)合作用的CH4和CO2重整反應(yīng)：等離子體作用下CH4的CO2氧化轉(zhuǎn)化反應(yīng)主要由自由基引發(fā)。 . C2烴的選擇性低?；瘜W(xué)催化下的CO2氧化CH4轉(zhuǎn)化反應(yīng)增加了目標(biāo)產(chǎn)物的選擇性。例如，等離子體技術(shù)負(fù)載型鎳催化劑提供的目標(biāo)產(chǎn)物為合成氣（CO+H2），以鑭系元素氧化物為催化劑的目標(biāo)產(chǎn)物為C2烴。

等離子體技術(shù)處理揮發(fā)性有機(jī)物的局限

等離子放電激發(fā)產(chǎn)生大量高能電子與甲烷分子發(fā)生非彈性碰撞，將穩(wěn)定的甲烷分子分裂成不同的活性基團(tuán)，它們相互結(jié)合形成C2烴類產(chǎn)物。從能量上看，在等離子體的作用下，高能電子（1-20EV）的能量足以破壞CH4分子的CH鍵（CH鍵的平均鍵能為4.3EV，CH3. -H 具有 4.5EV 的解離能并在氣相中形成 CHX (X = 0-3) 自由基。

然后 CHX 自由基在固體表面（如容器壁和電極）上定向重組，形成以下產(chǎn)物：可從表面拆卸。在等離子體系統(tǒng)中，等離子體的主要作用是激活甲烷分子形成CHX自由基。自由基的類型和濃度由等離子體源及其能量相關(guān)參數(shù)決定。自由基由它們的表面性質(zhì)控制如下。在傳遞能量進(jìn)行自由基重組的同時(shí)，在表面上進(jìn)行定向重組反應(yīng)。大氣壓甲烷等離子體中的激發(fā)態(tài)活性物種可以使用發(fā)射光譜原位診斷技術(shù)進(jìn)行診斷。

在 250-800 NM 波長(zhǎng)范圍內(nèi)，甲烷轉(zhuǎn)化過程中產(chǎn)生的主要活性物種。等離子體的作用是 CH（430.1 至438.7 NM）、C（563.2 NM、589.1 NM）、C2（512.9 NM、516.5 NM）和 H（434.1 NM、486.1 NM 和 656.3 NM）。在等離子體放電區(qū)，首先產(chǎn)生高能電子。

忽略：CH2 + CH4 + M & MDASH;> C2H6 + M (3-14) CH + CH4 + M & MDASH;> C2H4 + H + M (3-15) C + CH4 + M & MDASH;> C2H4 + M (3- 16) C + CH4 + M & MDASH;> C2H2 + H2 + M (3-17) 另一方面，由于甲烷等離子體的發(fā)射光譜中存在 C2 物種，乙炔也可能是由以下途徑產(chǎn)生。

等離子體技術(shù)處理揮發(fā)性有機(jī)物的局限

猜測(cè)是合理的。 + H + M & MDASH;> C2H + M (3-18) C2H + H + M & MDASH;> C2H2 + M (3-19) 在大氣壓脈沖電暈等離子體中，等離子體技術(shù)高能電子具有較寬的能量分布。等離子體子體內(nèi)各種自由基的濃度不同，反應(yīng)的主要產(chǎn)物是乙炔和氫氣，副產(chǎn)物是乙烯和乙烷。然后是 CH3 和 CH2。

當(dāng)達(dá)到等離子體狀態(tài)時(shí)，等離子體技術(shù)處理揮發(fā)性有機(jī)物的局限氣態(tài)分子分解成大量高反應(yīng)性粒子。這些裂變不是永久性的。當(dāng)用于形成等離子體的能量耗盡時(shí)，各種粒子重新組合形成原始?xì)怏w分子。自1960年代以來，等離子體技術(shù)已應(yīng)用于化學(xué)合成、薄膜制備、表面處理和精細(xì)化學(xué)品等領(lǐng)域。應(yīng)用了所有干法工藝技術(shù)，例如等離子聚合、等離子蝕刻、等離子灰化和等離子陽極氧化。等離子清洗技術(shù)也是干墻進(jìn)步的成果之一。