循環(huán)過程 還原過程單方面需要數(shù)百納米。蝕刻氣體，環(huán)氧膩?zhàn)痈街κ裁匆馑贾饕?O2，通常用于實(shí)現(xiàn)足夠高的還原率。在循環(huán)刻蝕過程中，SiO2和Si3N4同時被刻蝕，并停止在下SiO2表面。由于需要選擇比，通常將其分解為 SiO2。蝕刻（相對低的選擇性）步驟和 Si3N4 蝕刻。后者需要對 SiO2 具有高選擇性，以便在下面的 SiO2 表面停止。
在電子零件、汽車零件等工業(yè)零件的制造過程中，環(huán)氧膩?zhàn)痈街κ裁匆馑加捎谙嗷ノ廴?、自然氧化、助焊劑等質(zhì)量問題，在表面形成各種污染物，降低了成品的可靠性和成品率。等離子處理是通過化學(xué)或物理作用對工件表面進(jìn)行處理，其中反應(yīng)性氣體被電離，產(chǎn)生高反應(yīng)性的反應(yīng)性離子，與表面的污染物發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而達(dá)到清潔的目的。反應(yīng)氣體應(yīng)根據(jù)污染物的化學(xué)成分選擇?；诨瘜W(xué)反應(yīng)的等離子清洗速度快、選擇性高，對有機(jī)污染物有極好的清洗效果。
綜上所述，環(huán)氧膩?zhàn)拥母街Φ入x子處理的優(yōu)點(diǎn)是大于缺點(diǎn)的，隨著社會經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展，人們的生活水平不斷提高，對消費(fèi)品市場的質(zhì)量要求也越來越高，等離子處理技術(shù)也隨之進(jìn)入生活消費(fèi)品市場；此外，隨著社會經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展，人們的生活水平不斷提高，對消費(fèi)品市場的質(zhì)量要求也越來越高，等離子處理技術(shù)也隨之進(jìn)入生活消費(fèi)品市場。小編深信等離子處理技術(shù)的應(yīng)用范圍會變得越來越廣；短板會越來越少，技術(shù)成熟，成本(降低)低，應(yīng)用會更廣泛。。
（上） 電暈放電 電暈放電 電暈放電 電暈放電 電暈放電 非均勻電場中的局部自持放電。這是最常見的氣體放電形式。具有大曲率半徑的尖端電極附近的局部電場強(qiáng)度高。氣體電離電場的強(qiáng)度使氣體被電離和激發(fā)，環(huán)氧膩?zhàn)拥母街Ξa(chǎn)生電暈放電。電暈可以看作是電極周圍的光，帶有嗖嗖聲。電暈放電可能是一種比較穩(wěn)定的放電形式，也可能是非均勻電場中間隙斷裂過程中發(fā)展的早期階段。
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等離子噴頭：直噴式和旋回頭等離子噴頭：直噴式和旋回頭等離子外表處理機(jī)，現(xiàn)在已經(jīng)開發(fā)了單噴頭，雙噴頭，三噴頭，旋轉(zhuǎn)噴頭號多款型號，噴出的是低溫等離子，形狀像火焰，但不會點(diǎn)燃包裝盒。
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