在工業(yè)真空等離子體清洗機的實際使用中,木器漆附著力不好不同的工藝要求需要選擇不同流量控制范圍的質(zhì)量流量控制器。真空等離子體清洗機常用的流量控制范圍通常在0~50sccm到0~500sccm之間,一些大型真空等離子體清洗機還采用0~1slm規(guī)格的質(zhì)量流量控制器。
等離子加工設(shè)備的真空系統(tǒng)設(shè)計為了使大尺寸PCB進行低溫等離子加工,木器漆附著力不好怎么辦設(shè)計了一臺大型等離子加工設(shè)備。該設(shè)備具有真空度可調(diào)的真空系統(tǒng)、電極冷卻的供電系統(tǒng)、基于可編程控制器(PLC)和觸摸屏的控制系統(tǒng)。本文簡要介紹了大型等離子體加工設(shè)備的組成和工作方式,詳細闡述了真空系統(tǒng)的設(shè)計,包括真空泵組的選型計算和基于有限元的真空室結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計。實踐證明,該設(shè)備具有產(chǎn)生視覺快、腔溫控制效果好等特點,已達到國內(nèi)領(lǐng)先水平。
在大規(guī)模集成電路和分立器件產(chǎn)業(yè)中,木器漆附著力不好怎么辦等離子體清洗技術(shù)一般應(yīng)用于以下關(guān)鍵步驟:1.脫膠,用氧等離子體處理硅片,去除光刻膠;2.器件襯底金屬化前的等離子清洗;3.鍵合前混合電路等離子清洗;4.鍵合前等離子清洗;5.金屬化陶瓷管封蓋前等離子清洗;6.等離子體清洗技術(shù)的可控性和可重復(fù)性體現(xiàn)在設(shè)備使用上具有經(jīng)濟、環(huán)保、高效、高可靠性、易操作等優(yōu)勢。。
集成電路中引線鍵合的質(zhì)量對微電子器件的可靠性有決定性的影響,木器漆附著力不好鍵合區(qū)必須是無污染的,具有良好的鍵合特性。污染物如氧化物和有機殘留物的存在會嚴重削弱引線鍵合的張力值。傳統(tǒng)的濕式清洗無法完全或徹底去除鍵合區(qū)的污染物,而等離子體清洗可以有效去除鍵合區(qū)表面的污染物并激活其表面,可以明顯提高引線的鍵合張力,大大提高封裝器件的可靠性。。
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因此,低溫等離子體表面處理設(shè)備是非熱平衡等離子體。低溫等離子體表面處理設(shè)備中含有大量的活性顆粒,其種類比通常的化學(xué)反應(yīng)種類多、強度大。它更容易反射接觸材料的表面。因此,它們被用于等離子體表面處理設(shè)備對材料表面進行改性。北京公司()專注低溫等離子體表面處理設(shè)備研究20多年,在等離子體表面清洗、表面改性、表面改性等領(lǐng)域具有相當(dāng)成熟的技術(shù)研究。(北京低溫等離子表面處理設(shè)備有限公司。
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