如圖所示,周口等離子槍頭生產(chǎn)商等離子清洗分為電暈等離子清洗、輝光等離子清洗、高頻等離子清洗、介質(zhì)阻擋等離子清洗、微波等離子清洗。和大氣壓等離子弧清洗。其中,低壓等離子清洗一般采用電暈等離子清洗、輝光等離子清洗和高頻等離子清洗,常壓等離子清洗采用等離子清洗、微波等離子清洗和常壓等離子弧清洗。電暈等離子清洗使用曲率半徑小的電極并施加高電壓。由于電極的曲率半徑很小,所以電極附近的電場特別強,容易。

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如果柵氧區(qū)較小,周口等離子高頻板多少錢而柵極面積較大,大面積柵極收集到的離子將流向小面積的柵氧區(qū),為了保持電荷平衡,由襯底注人柵極的隧道電流也需要隨之增加,增加的倍數(shù)是柵極與柵氧面積之比,放大了損傷效應(yīng),這種現(xiàn)象稱為“天線效應(yīng)”。對于柵注入的情況,隧道電流和離子電流之和等于等離子體中總的電子電流。因為電流很大,即使沒有天線的放大效應(yīng),只要柵氧化層中的場強能產(chǎn)生隧道電流,就會引起等離子體損傷。

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