在這樣的封裝與組裝工藝中，分子中引入親水性基團(tuán)大的問(wèn)題是粘結(jié)填料處的有機(jī)物污染和電加熱中形成的氧化膜等。由于在粘結(jié)表面有污染物存在，導(dǎo)致這些元件的粘接強(qiáng)度降低和封裝后樹脂的灌封強(qiáng)度降低，直接影響到這些元件的組裝水平與繼續(xù)發(fā)展。為提高與改善這些元件的組裝能力，大家都在想盡一切辦法進(jìn)行處理。提高實(shí)踐證明，在封裝工藝中引入等離子活化機(jī)等離子清洗技術(shù)進(jìn)行表面處理，可以大大改善封裝可靠性和提高成品率。

等離子體中的活性物質(zhì)，分子中引入親水性基團(tuán)如自由基、離子、受激原子、分子和電磁輻射等。在不破壞材料本身的基礎(chǔ)上滅活微生物和病毒，不使用化學(xué)溶劑，不產(chǎn)生有毒物，還能激(活)材料表面以增加其生物相容性。根據(jù)等離子體表面反應(yīng)的類型，可分為以下四類： 1、濺射刻蝕效應(yīng)； 2、表面活(化)改性，功能化活性位點(diǎn)的引入； 3、自由基的接枝聚合； 4、沉積涂層。

與常見的三種狀態(tài)（固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)）相比，引入親水性基團(tuán)等離子體的組成和性質(zhì)各有異同。因此，等離子體也被稱為物質(zhì)的第四態(tài)。等離子體中含有許多高能電子、離子、自由基、受激原子、分子、光子等活性粒子。塑料制品的表面會(huì)受到輻射的影響，例如輻射，中性粒子流與離子流之間的碰撞。此類顆粒與塑料制品表面的相互作用（蝕刻、清洗、氧化、接枝、活化、聚合等）從而使塑料制品的表面粗糙化、表面清潔、表面引入等提高了塑料制品的表面性能。

（1）對(duì)數(shù)據(jù)表面的蝕刻效應(yīng)物理效應(yīng)等離子體中的大量活性粒子，引入親水性基團(tuán)如離子、激發(fā)分子、自由基等作用于固體樣品表面，根除表面原有的沾染和雜質(zhì)，產(chǎn)生刻蝕效應(yīng)，使樣品外觀變得粗糙，形成許多微坑洞，從而增加樣品的具體外觀。改善固體外觀的滋潤(rùn)功能。（2）活化鍵能與交聯(lián)效應(yīng)等離子體子體中粒子的能量為0～20eV，而聚合物中大多數(shù)鍵的能量為0～10eV。

分子中引入親水性基團(tuán)

在半導(dǎo)體封裝工藝的表面處理中引入等離子清洗機(jī)可以顯著提高封裝可靠性和良率。除了超強(qiáng)清洗功能外，等離子清洗機(jī)還可以在一定條件下改變特定材料的表面特性。等離子體作用于材料表面，重組表面分子的化學(xué)鍵，形成新的表面特性。 對(duì)于一些特殊用途的材料，等離子清洗機(jī)在超清洗過(guò)程中的輝光放電不僅增強(qiáng)了這些材料的附著力、相容性和潤(rùn)濕性。

許多側(cè)基團(tuán)可結(jié)合在硅原子上，這些側(cè)基的PDMS是甲基基CH3。高分子可以和各種鏈端結(jié)合其中以Si-SH3是常見的，其含量也較高。只有兩個(gè)末端基團(tuán)(不含二甲基硅烷氧單體單位)所構(gòu)成的短分子是六甲基二硅氧烷，作為疏水性等離子涂層等離子清洗儀的工藝氣體是非常重要。PDMS是一種線性聚合物，分子量非常大，而且是液態(tài)的。但它能彼此結(jié)合，因而具有彈性的性質(zhì)。

分子或有機(jī)化學(xué)基團(tuán)的結(jié)合產(chǎn)生了新的聚合物激動(dòng)劑，取代了舊的表面聚合物激動(dòng)劑。用等離子清洗機(jī)涂布聚合物表面層：等離子表面層的涂布在氣體聚合的基礎(chǔ)上，在原料的局部基材表面產(chǎn)生一層薄薄的等離子涂層。當(dāng)應(yīng)用的生產(chǎn)氣體由復(fù)雜的分子結(jié)構(gòu)組成時(shí)，它們以等離子體狀態(tài)分裂以結(jié)合到聚合物表面并產(chǎn)生在聚合物內(nèi)重組的隨機(jī)功能單體。面層涂層。這種類型的聚合物表面涂層可以顯著改變表面層的滲透性和摩擦力。

提高粘接能力:等離子體處理很容易在聚合物材料表面引入極性基團(tuán)或活性點(diǎn)，與粘接材料和膠粘劑表面形成化學(xué)鍵，通過(guò)增加粘接材料與膠粘劑之間的范德華力(范德華力)來(lái)改善粘接性能。該工藝不受材料質(zhì)地的限制，不會(huì)破壞材料的整體力學(xué)性能，遠(yuǎn)優(yōu)于普通的化學(xué)工藝。等離子體處理能明顯改善聚合物膜間的結(jié)合力，提高復(fù)合材料的力學(xué)性能。

引入親水性基團(tuán)

在材料表面，分子中引入親水性基團(tuán)利用等離子體中所含的大量受激電子、離子、原子、分子等活性粒子，將能量傳遞給表面分子，使材料發(fā)生熱腐蝕、交聯(lián)、被氧化并在材料表面產(chǎn)生或部分引入大量自由基。用于優(yōu)化材料表面特性的極性基團(tuán)。真空等離子清洗機(jī)的特點(diǎn)：真空等離子清洗機(jī)是一種吸收電能的氣相干式?；瘜W(xué)處理設(shè)備污染水、能源、污染，善用資源，有利于保護(hù)環(huán)境。等離子體活性物質(zhì)（電子、離子、自由基、紫外光）的高活性可用于實(shí)現(xiàn)一系列常規(guī)化學(xué)處理。

材料表面形貌發(fā)生了明顯變化，引入親水性基團(tuán)引入了各種含氧基團(tuán)，使表面由非極性變?yōu)橐欢O性，形成易粘親水性的效果，有利于粘接、涂布和印刷。等離子體表面處理機(jī)具有工藝簡(jiǎn)單、操作方便、加工生產(chǎn)速度快、處理效果好、環(huán)境污染小、節(jié)約能源等優(yōu)點(diǎn)。在對(duì)塑料橡膠等材料進(jìn)行改性活化的過(guò)程中，等離子體技術(shù)提高了材料的表面活性，大大提高了材料表層的親水性和附著力。